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8414100010 [类注] |
[章注] |
[子目注释] |
[详情]
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耐腐蚀真空泵 流量大于5m3/h,接触表面由特殊耐腐蚀材料制成 |
0:品牌类型|1:出口享惠情况|2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）|3:品牌（中文或外文名称）|4:型号|5:抽气速率（m3/s或L/s）|6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）|7:GTIN|8:CAS|9:其他 |
台 |
3 |
无 |
13% |
8% |
30% |
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8414100020 [类注] |
[章注] |
[子目注释] |
[详情]
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真空泵 抽气口≥38cm,速度≥15m^3/s,产生<10^-4托极限真空度 |
0:品牌类型|1:出口享惠情况|2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）|3:品牌（中文或外文名称）|4:型号|5:抽气速率（m3/s或L/s）|6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）|7:GTIN|8:CAS|9:其他 |
台 |
3 |
无 |
13% |
8% |
30% |
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8414100030 [类注] |
[章注] |
[子目注释] |
[详情]
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能在含UF6气氛中使用的真空泵 用耐UF6腐蚀的材料制成或保护。这些泵可以是旋转式或正压式，可有排代式密封和碳氟化合物密封并且可以有特殊工作流体存在 |
0:品牌类型|1:出口享惠情况|2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）|3:品牌（中文或外文名称）|4:型号|5:抽气速率（m3/s或L/s）|6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）|7:GTIN|8:CAS|9:其他 |
台 |
3 |
无 |
13% |
8% |
30% |
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8414100040 [类注] |
[章注] |
[子目注释] |
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专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵 专用于同位素气体扩散浓缩 |
0:品牌类型|1:出口享惠情况|2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）|3:品牌（中文或外文名称）|4:型号|5:抽气速率（m3/s或L/s）|6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）|7:GTIN|8:CAS|9:其他 |
台 |
3 |
无 |
13% |
8% |
30% |
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8414100050 [类注] |
[章注] |
[子目注释] |
[详情]
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能在含UF6气氛中使用的真空泵 耐UF6腐蚀的,也可用氟碳密封和特殊工作流体 |
0:品牌类型|1:出口享惠情况|2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）|3:品牌（中文或外文名称）|4:型号|5:抽气速率（m3/s或L/s）|6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）|7:GTIN|8:CAS|9:其他 |
台 |
3 |
无 |
13% |
8% |
30% |
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8414100060 [类注] |
[章注] |
[子目注释] |
[详情]
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专门或主要用于半导体或平板显示屏制造的真空泵 （P） |
0:品牌类型|1:出口享惠情况|2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）|3:品牌（中文或外文名称）|4:型号|5:抽气速率（m3/s或L/s）|6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）|7:GTIN|8:CAS|9:其他 |
台 |
无 |
无 |
13% |
0% |
30% |
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8414100090 [类注] |
[章注] |
[子目注释] |
[详情]
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其他真空泵 |
0:品牌类型|1:出口享惠情况|2:用途（如半导体晶圆或平板显示屏制造用等）|3:品牌（中文或外文名称）|4:型号|5:抽气速率（m3/s或L/s）|6:抽气量（Pam3/s或Pal/s）|7:GTIN|8:CAS|9:其他 |
台 |
无 |
无 |
13% |
8% |
30% |
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