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[84]
[8414]
[841410]
hscode
编码描述
84141000
10
[下级]
耐腐蚀真空泵
84141000
20
[下级]
真空泵
84141000
30
[下级]
能在含UF6气氛中使用的真空泵
84141000
40
[下级]
专门设计或制造的抽气能力≥5m3/min的真空泵
84141000
50
[下级]
能在含UF6气氛中使用的真空泵
84141000
60
[下级]
专门或主要用于半导体晶圆或平板显示屏制造的真空泵
84141000
90
[下级]
其他真空泵
