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hscode 编码描述
84862010      [下级] ---氧化、扩散、退火及其他热处理设备
8486202      [下级] ---薄膜沉积设备：
8486203      [下级] ---将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置：
8486204      [下级] ---刻蚀及剥离设备：
84862050      [下级] ---离子注入机
84862090      [下级] ---其他