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hscode 编码描述
84863010      [下级] ---扩散、氧化、退火及其他热处理设备
8486302      [下级] ---薄膜沉积设备：
8486303      [下级] ---将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置：
8486304      [下级] ---湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置：
84863090      [下级] ---其他