| hscode | 编码描述 |
|---|---|
| 84863010 [下级] | ---制造平板显示器用的扩散、氧化、退火及其他热处理设备 |
| 84863021 [下级] | ----制造平板显示器用的化学气相沉积设备(CVD) |
| 84863022 [下级] | ----制造平板显示器用的物理气相沉积设备(PVD) |
| 84863029 [下级] | ----制造平板显示器用的其他薄膜沉积设备 |
| 84863031 [下级] | ----制造平板显示器用的分布重复光刻机 |
| 84863039 [下级] | ----其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的制造平板显示器用装置 |
| 84863041 [下级] | ----制造平板显示器用的超声波清洗装置 |
| 84863049 [下级] | ----制造平板显示器用的其他湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 |
| 84863090 [下级] | ---其他制造平板显示器用的机器及装置 |
