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掩膜 对准 光 刻
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hscode 编码描述 企业归类实例 出口退税 第一单位 监管条件 检疫类别 最惠国进口税 普通进口税
前3条hscode请 注册登录 后查看 该编码已过期 高精度掩膜对准光刻机 | 无掩膜直写光刻机 | 扫描式光刻机/将掩膜版上的电路图复制到硅晶圆表面上 | 旧光刻机 | ABM光刻机 | 光刻机系统 | 紫外光刻机 | 自动光刻机 | 设备光刻机 | 接触式光刻机 | 光刻机（旧） | 光刻胶喷涂机 | 全自动光刻机 | 半导体光刻机 | 扫描投影光刻机 | 激光干涉光刻仪 | 激光直写光刻机 | 激光直写光刻系统 | 高照度自动光刻机 | 紫外光刻机(科研用) | 紫外光刻机/型号:MJB4 | 高精度晶圆光刻设备(旧) | 旧自动光刻胶涂布显影机 | 电子束光刻机系统/实验室用 | 高精度光刻胶248纳米涂布显影机 | 旋转涂胶机(旧)/将光刻胶涂在晶圆表面 | 旋转涂胶机（旧）/晶圆表面涂光刻胶用 | 高精度光刻胶涂布显影机CLEAN TRACK LITHIUS PROZ 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
前3条hscode请 注册登录 后查看 其他测量、检验仪器、器具及机器 指第90章其他税目未列名的 垂直对准校验工具/光刻机用 | 垂直对准校验工具/光刻机用/垂直定理/无测试结果 | 传感器(光刻机专用) | 位置调节器/光刻机用 | 位置传感器(光刻机专用) | 传感器(光刻机专用零件) | 位置传感器(光刻机专用零件) | 光罩/光刻机用/测试校准晶圆 | 高度传感器(ULTRATECH.光刻机用) | 探测器/光刻机用/电磁感应原理 | 校准仪/光刻机用/机械校准原理 | 位置传感器/光刻机用/SERV.502.32237 | 位置校准器/光刻机用/SERV.487.94451 | 高度调整器/光刻机用/SERV.483.35232 | 高度测量工具/光刻机用/SERV.649.25032 | 位置校准器/光刻机用/电磁感应原理 | 光电信号检测装置/光刻机用/SERV.472.37701 | 距离测量仪/光刻机部件测量用/SERV.632.79622 | 位置测量装置(品牌ASML.光刻机用.测量镜头顶 | 光罩/光刻机用/测试校准晶圆/无测试结果显示 | 位置传感器(光刻机用.电磁感应原理用于探测机 | 距离传感器(光刻机用.通过电磁感应原理感应硅 | 间隙测量装置(光刻机专用.通过电磁感应原理测 | 校准仪/光刻机用/机械校准原理/无测试结果显示 13% 台 无 无 0% 17%
前3条hscode请 注册登录 后查看 该编码已过期 快门组件(ASML.光刻机专用.对准系统的光路开 | 快门组件(ASML.光刻机专用.对准系统的光路开关快门 | 光刻机掩膜版设备板 | 光刻机零件(掩膜板架) | 轴光刻尺 | 光刻机夹具 | 光刻机零件 | 光刻机用风筒 | 光刻机用风管 | 光刻机零配件 | 光刻胶供给箱 | 光刻机用基座 | 光刻机用夹具 | 光刻机用导轨 | 光刻机用挡板 | 光刻机用支架 | 光刻机用气垫 | 光刻机用滚轮 | 光刻机用盖板 | 光刻机用调节器 | 光刻机用连接件 | 光刻机用连接板 | 光刻机用连接管 | 光刻机用遮光器 | 光刻机用锁止器 | 光刻机用限位器 | 光刻机专用顶针 | 光刻机减震支架 | 光刻机用零备件 | 光刻机执行模块 | 光刻机腔体组件 | 光刻机用保护罩 | 光刻机用冷却板 | 光刻机用反光罩 | 光刻机用固定件 | 光刻机用固定夹 | 光刻机用固定板 | 光刻机用定位件 | 光刻机用挡光板 | 光刻机用撞针杆 | 光刻机用操作台 | 光刻机用电路板 | 光刻机用紧固件 | 光刻机用调整块 | 光刻机零件-支架 | 光罩/光刻机专用 | 快门(光刻机专用) | 卡盘(光刻机专用) | 盖板(光刻机专用) | 光刻机用调整垫块 | 光刻机用输送管路 | 光刻机专用定位块 | 光刻机用连接模块 | 光刻机专用电路板 | 光刻机用锁定装置 | 光刻机专用缓冲器 | 光刻机用防水贴膜 | 光刻机用风淋装置 | 光刻机按钮保护罩 | 光刻机用高压气垫 | 光刻机用供气部件 | 光刻机用光源模块 | 光刻机用反射部件 | 光刻机用基底底座 | 光刻胶剥离机零件 | 光刻机用成像装置 | 光刻设备用吸附盘 | 光刻机用曝光快门 | 光刻机用气控单元 | 光刻机专用传感器 | 光刻机用蓄水模块 | 导向杆/光刻机配件 | 定位块/光刻机配件 | 光刻机零件-保护盖 | 光刻工艺4英寸载盘 | 光刻机用零件(腔体) | 光刻机用遮光片组件 | 光刻机专用连接组件 | 光刻机专用防水贴膜 | 光刻机快门更换套件 | 光刻机激光器电路板 | 光刻机用位置定位器 | 光刻机用位置调整器 | 光刻机用信号传输板 | 光刻机用信号传输盒 | 光刻机用信号处理板 | 光刻机面板/7A21474810H | 光刻胶硬化机用卡盘 | 光刻设备专用固定柱 | 光刻机专用传输手臂 | 光刻机专用零件/腔体 | 减震支架/光刻机配件 | 缓冲组件/光刻机配件 | 光刻机用校准件/套装 | 快门组件(光刻机专用) | 光刻机用零件(光刻版) | 光刻机用零件(匹配器) | 光刻机用零件(压片盘) | 光刻机用零件(录片盘) | 底座(光刻机专用零件) | 光刻机用零件(承片台) | 光刻机用零件(操纵杆) | 光刻机用零件(电路板) | 支架(光刻机专用零件) | 盖板(光刻机专用零件) | 光刻机专用信号处理板 | 光刻机专用圆片承载盘 | 光刻机专用水管转接头 | 靶板(ULTRATECH.光刻机用) | 光刻机专用间距调整片 | 框架(ULTRATECH.光刻机用) | 光刻机用冷却水稳定器 | 光刻机零件（激光管） | 光刻胶硬化机用机械手 | 顶针(ULTRATECH.光刻机用) | 光刻机用激光器电路板 | 光刻机用热卡盘固定座 | 光刻机用硅片存储单元 | 光刻机零件硅片平台/旧 | 防护罩/光刻机专用零件 | 信号传输板/光刻机配件 | 光斑校正器/光刻机零件 | 光刻机专用光学稳定模块 | 光刻机专用气体分配总成 | 光刻机专用硅片传送装置 | 前馈板(ULTRATECH.光刻机用) | 光刻机专用颗粒打磨装置 | 隔热板(ULTRATECH.光刻机用) | 光刻机用信号传输电路板 | 热卡盘(ULTRATECH.光刻机用) | 半导体光刻机专用电路板 | 光刻胶刻蚀机专用屏蔽罩 | 步进光刻机用信号电路板 | 步进光刻机用数据转换器 | 光刻胶去除清洗设备部件 | 轨道托架(ULTRATECH.光刻机) | 光刻机用晶圆盒固定模块 | 光刻机专用信号处理单元 | 塑料制连接件/光刻机配件 | 供水供气部件/光刻机专用 | 光刻机零件晶片承接台/旧 | 设备备件-光刻机腔体组件 | 固定组件(光刻机专用零件) | 光刻机用零件(光强计探头) | 光刻机专用零件/腔体,盘等 | 位置探头(光刻机专用零件) | 光罩存储单元(光刻机专用) | 集成电路光刻机专用固定柱 | 光刻机激光发生器专用支架 | 光刻机用光学频宽压缩模块 | 镜头保护罩（光刻机专用） | 紫外线光刻机专用挡光模块 | 步进光刻机零件（激光管） | 步进光刻机零件（蝇眼镜） | 光刻机用支架，腔体等零件 | 光刻机用激光器子系统接口 | 设备备件-光刻机专用电路板 | 设备备件-光刻机专用连接件 | 光刻机零件硅片平台/修理费 | 半导体制造光刻机零件(喷嘴) | 晶圆分隔器(ULTRATECH.光刻机用) | 移动分划板(ULTRATECH.光刻机用) | 半导体光刻机专用硅片承载盘 | 光刻胶刻蚀机用晶圆传送装置 | 光刻机零件晶片承接台/修理费 | 设备备件-光刻机专用连接模块 | 设备备件-光刻机专用防震平台 | 光刻机专用晶圆盒移动控制模块 | 热电偶连接器(ULTRATECH.光刻机用) | 平衡块(钢铁制,光刻机专用零件) | 光刻机专用零件/离子规管,晶片夹 | 光刻机专用零件/离子规管,腔体等 | 光刻机用硅片承载装置(带传感器) | 紫外线光刻胶硬化机专用屏蔽网环 | 光刻胶去除机用支架，挡板等零件 | 硅片中心上下驱动组件/光刻机配件 | 光束放大器/步进重复式光刻设备专用 | 升降杆/平板显示器光刻胶涂覆机零件 | 预涂板/平板显示器光刻胶涂覆机零件 | 定位组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于 | 定位块(NIKON.光刻机专用.用于内部运动部 | 晶圆承载台(ASML.承载晶圆用.光刻机专用) | 定位块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部 | 盖板(品牌ASML.适用机型PASS5500.光刻机专用. | 光罩承载装置(ASML.光刻机专用.承载光罩用) | 连接部件(ASML.5500机型光刻机专用.安装在硅 | 水管组面板(ASML.5500光刻机专用.用于遮挡机 | 支架(ASML.钢铁制.已制成特定形状.光刻机专 | 信号传输板(品牌ASML.专用于5500光刻机.传输 | 信号传输板(ASML.光刻机信号传输用.24V.光刻 | 固定件(ASML.光刻机用.已制成特殊形状.用于 | 定位块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运 | 导向杆(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于引导机 | 减震支架(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于固定 | 塑料制连接件(NIKON.光刻机专用.塑料制.用于 | 定位组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部 | 遮光片组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.已制成 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机硅片平台上 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机硅片平台定 | 支架(ASML.钢铁制.用于按放透镜.光刻机专用) | 光刻机腔体组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用 | 定位杆(NIKON.光刻机专用.钢铁制.已制成特定 | 挡板(光刻机专用.NIKON.塑料制.用于内部部件 | 气体控制单元(品牌KV LIMITED.光刻机专用零件 | 滑块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于连接内部 | 硅片承载台(ASML.专用于5500光刻机.钢铁制.用 | 信号传输板(ASML.用于传输调节数字信号.光刻 | 光罩承载平台(ASML.光刻机专用.用来承载定位 | 管路装置(ASML.光刻机NXT机型用.由管路和钢铁 | 信号传输板(ASML.处理传输数字信号用.光刻机 | 晶圆盒承载装置(ASML.光刻机专用零件.已制成 | 光刻机专用连接组件(ASML.用于水流.气体的流 | 定位件(品牌ASML.光刻机专用零件.固定晶圆的 | 信号传输板(ASML.用于传输传感器信号.光刻机 | 分流器(5500机型光刻机用.与阀门和管路连用. | 连接模块(ASML.光刻机专用.用于硅片传送模块 | 支架(ASML.用于支撑光刻机镜头连接件.钢铁制 | 定位件(固定内部部件位置用.光刻机专用.ASML | 供水系统(ASML.供应光刻机专用冷却水.由电缆 | 出风口(ASML.制造半导体设备的光刻机专用.用 | 信号传输板(ASML.用于传输激光光源信号.光刻 | 信号传输板(ASML.传输激光光信号用.光刻机专 | 连接件(ASML.用于光刻机内部纯水系统的连接. | 连接件(ASML.用于连接光刻机部件.已制成特定 | 底座调整器(ASML.专用于光刻机光路系统中.通 | 信号传输板(ASML.传输调节器的数字信号.光刻 | 连接件(ASML.连接机械手和机械臂(光刻硅片用 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.传输光刻机定位 | 信号传输板(品牌ASML.光刻机专用零件.传输信 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.传输光刻机的平 | 水压波动调节器(ASML.光刻机专用零件.安装于 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.传输光罩平台电 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.传输硅片平台运 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.处理传输数字信 | 定位件(ASML.用于硅片平台上定位标记用.光刻 | 导轨(ASML.硅片托盘沿着其上下运动.光刻机专 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.用于传输光刻机 | 信号传输板(ASML.光刻机专用零件.传输信号用 | 信号传输板(ASML.光刻机专用零件.起传输信号 | 可变衰减器(ASML.用于光刻机光路系统中.根据 | 固定件(ASML.光刻机专用.已制成特定形状及尺 | 光罩承载台(ASML.用于承载光罩盒.光刻机专用 | 固定件(ASML.固定零部件.光刻机专用.已制成特 | 信号传输板(ASML.光刻机平台曝光信号传输用.2 | 定位块(NIKON.光刻机专用.用于内部运动部件定 | 垂直定位件(BE牌.专用于NXT机型光刻机上.起定 | 信号传输板(ASML.光刻机平台驱动信号传输用.2 | 硅片承载部件(ASML.5500机型光刻机专用.放置承 | 信号传输板(ASML.光刻机过载监测信号传输用.2 | 底座(ASML.用于支撑硅片平台.钢铁制.光刻机专 | 调整件(ASML.由迷你马达.光刻机镜片专用支架. | 涂布机Z轴组件/平板显示器光刻胶涂覆机零件 | 支架(ASML.光刻机专用.已制成特定形状.用于支 | 支架(ASML.用于支撑固定光刻机零部件.钢铁制. | 上面板(ASML.用于遮挡.已制成特定形状.光刻机 | 限位块(光刻机专用零件.用来限定机台透镜镜 | 信号传输板(NEWAYS牌.用于传输光刻机光罩平台 | 信号传输板(光刻机专用.用于传输光刻机中传 | 信号传输板(品牌ASML.5500光刻机专用零件.传输 | 固定件(光刻机专用.用于固定内部部件.ASML牌. | 信号传输板(ASML.光刻机专用.处理传输信号用) | 光罩吸附件(ASML.光刻机专用.钢铁制.已制成特 | 喷嘴头(NIKON.钢铁制.光刻机喷射装置专用零件 | 导向杆(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运动 | 信号传输板(ASML.用于光刻机光罩平台气浮系统 | 信号传输板(ASML.光刻机平台驱动模拟信号传输 | 定位块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运动 | 导向杆(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于引导机台 | 连接件(光刻机专用.连接机械臂和机械手.贱金 | 挡块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.已制成特定形状 | 信号传输板(ASML.用于光刻机平台垂直驱动信号 | 信号传输板(ASML.用于光刻机平台驱动的模拟信 | 减震支架(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于固定内 | 信号传输板(ASML.用于光刻机曝光平台位移信号 | 信号传输板(ASML.用于光刻机激光强度信号的传 | 定位组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部光 | 滤镜承载切换装置(ASML.安装在光刻机光路模块 | 遮光片组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.已制成特 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机光路系统的光 | 连接模块(ASML.用于光刻机硅片平台连接两个部 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机的对位系统运 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机系统安全模块 | 导向装置(贱金属材质.光刻机专用.已制成特定 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机运动部件的位 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机镭射曝光的模 | 光刻机腔体组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于 | 定位杆(NIKON.光刻机专用.钢铁制.已制成特定形 | 机械手臂单元(ASML.光刻机自动搬运晶圆的设备 | 信号传输板(ASML.传输光刻机快门开闭的信号用 | 滑动导轨(NIKON.光刻机专用.已制成特定形状.用 | 信号传输板(光刻机专用.已制成特定形式.起到 | 信号传输板(光刻机专用.已制成特定形状.NXT机 | 信号传输板(光刻机专用.已制成特定形状.起到 | 固定座(NIKON.本身不通电.光刻机专用零件.已制 | 盖板(光刻机专用零件.用于保护机台内部零件. | 盖板(光刻机用5500.保护平台镜面不被损伤和污 | 信号传输板(ASML.光刻机专用传输光路系统中的 | 水平移动连接件(ASML.安装在光刻机硅片传送系 | 保护罩(已制成特殊形状.光刻机专用零件.用于 | 信号传输板(ASML.光刻机传送臂纵向驱动信号传 | 信号传输盒(ASML.光刻机硅片平台传输处理信号 | 信号传输板(ASML.光刻机平台垂直驱动信号传输 | 信号传输板(ASML.用于光刻机工作信号的传输.已 | 定位件(品牌ASML.光刻机专用零件.固定晶圆的位 | 信号接收处理模块(ASML.接受处理信号用.光刻机 | 基座(钢铁制.光刻机专用.已制成特定形状.安装 | 信号传输板(ASML.负责光刻机镭射光信号的传输) | 信号传输板(ASML.用于传输处理传感器信号.光刻 | 信号传输板(ASML.传输光刻机运行信号用.光刻机 | 信号传输板(光刻机专用.ASML.用于传输光刻机硅 | 供水部件(已制成特殊形状.供水用.光刻机专用. | 信号传输板(ASML.传输调节器的数字信号.光刻机 | 晶圆转动台(ASML.用于光刻机晶圆平台.使晶圆能 | 信号传输板(品牌ASML.光刻机专用零件.传输信号 | 气控单元(用于连接固定光刻机机械手臂上吸盘 | 导轨(ASML.硅片托盘沿着其上下运动.光刻机专用 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.用于激光信号的传 | 冷却片(ASML.贱金属制.光刻机专用零件.已制成特 | 光刻机快门更换套件(将光刻机快门系统从B系列 | 连接模块(NXT光刻机用.用于光刻机硅片平台连接 | 限位块(光刻机专用零件.用来限定机台透镜镜片 | 硅片平台驱动装置(光刻机专用.通过接收机台信 | 信号传输板(光刻机专用.传输光刻机机械手运动 | 信号传输板(光刻机专用.处理传输光罩平台移动 | 信号传输板(ASML.传输激光光信号用.光刻机专用) | 连接件(ASML.用于连接硅片传送模块.光刻机专用) | 信号传输板(光刻机用.用于传输光罩平台的安全 | 散热片(光刻机用散热片.利用前段的大头吸收热 | 信号传输板(用于光刻机的曝光平台.传输光刻机 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.处理传输模拟信号) | 导向杆(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运动部 | 定位块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运动部 | 底座(ASML.用于支撑硅片平台.钢铁制.光刻机专用) | 导向板(光刻机专用.制成特定形状.用于光罩平台 | 光刻机腔体组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于安 | 光罩(ASML.光刻机专用.曝光时使用.印有特定线路) | 硅片曝光平台(承载用于曝光的硅片.光刻机专用. | 信号传输板(ASML.用于光刻机浸润平台数字信号.光 | 光罩承载平台(ASML.光刻机专用.用来承载定位光罩) | 导向杆(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运动部件 | 定位块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运动部件 | 固定杆(ASML.钢铁制.用于固定工作平台.光刻机专用) | 摇杆(NIKON.光刻机用操作杆.钢铁制.已制成特定形状 | 信号传输板(光刻机专用.已制成特定形状.用于传输 | 水平移动连接件(ASML.安装在光刻机硅片传送系统中 | 信号传输板(ASML.用于光刻机光罩平台气浮系统.传输 | 信号传输板(ASML.用于光刻机工作信号的传输.已制成 | 挡板(光刻机专用.NIKON.塑料制.用于内部部件的隔离) | 晶圆转动台(ASML.用于光刻机晶圆平台.使晶圆能够转 | 定位件(NIKON.已制成特定形状.定位用.铝合金制.光刻 | 信号传输板(ASML.光刻机平台垂直驱动信号传输用.24V. | 信号传输板(ASML.传输光刻机运行信号用.光刻机专用) | 垂直定位件(BE牌.专用于NXT机型光刻机上.起定位作用. | 定位块(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部运动部件定 | 减震支架(NIKON,光刻机专用,钢铁制,用于固定内部部件 | 连接部件(ASML.5500机型光刻机专用.安装在硅片平台.通 | 定位组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于内部光学部件 | 支架(ASML.固定过滤网用.光刻机专用.已制成特定形状) | 光刻机腔体组件(NIKON.光刻机专用.钢铁制.用于安装部 | 硅片承载台(ASML.专用于5500光刻机.钢铁制.用于放置硅 | 定位件(NIKON,钢铁制,用于内部光学部件的定位,光刻机 | 固定件(ASML.光刻机专用.贱金属制.制成特定形状.用于 | 导向杆(NIKON,光刻机专用,钢铁制,用于内部运动部件定 | 定位块(NIKON,光刻机专用,塑料制,用于内部运动部件定 | 导向杆(NIKON,光刻机专用,钢铁制,用于引导机台内部件 | 信号传输盒(ASML.用于传输处理传感器信号.光刻机专用 | 信号传输板(ASML.用于光刻机光罩平台气浮系统.传输曝 | 信号传输板(ASML.用于光刻机光罩模块的数字信号传输. | 信号传输板(ASML.用于光刻机平台垂直驱动信号的传输. | 光罩接收器(ASML,光刻机专用,通过接收感应光罩的移动 | 信号传输板(ASML.用于光刻机曝光平台位移信号的传输. | 信号传输板(ASML.用于光刻机激光强度信号的传输.光刻 | 信号传输板(ASML.用于光刻机硅片平台中.传输硅片平台 | 支架(ASML,用于支撑和固定光刻机镜头的冷却系统,钢铁 | 硅片平台(ASML.用于放置硅片的专用工作平台.光刻机专 | 信号传输板(ASML.用于传输光刻机镭射曝光的模拟信号. | 连接件(ASML,用于光刻机超纯水过滤系统中的连接,不锈 | 信号传输板(光刻机专用.ASML.用于传输光刻机硅片平台 | 信号传输板(ASML.传输光路系统中的模拟信号用.光刻机 | 信号传输板(ASML.用于传输硅片平台的移动信号.光刻机 | 信号传输板(ASML.光刻机专用.用于传输光刻机上硅片平 | 信号传输板(ASML.光刻机传送臂纵向驱动信号传输用.24V | 可变衰减器(ASML.用于光刻机光路系统中.根据系统需求 | 固定架(ASML.钢铁制.用来固定光罩平台和运动部件.光刻 | 支架(ASML,不锈钢制,用于支撑光刻机镜头的冷却系统,光 | 定位件(品牌ASML.光刻机专用零件.固定晶圆的位置.金属 | 支架(ASML,用于支撑光刻机镜头的冷却系统,钢铁制,光刻 | 信号传输板(ASML.用于光罩平台传输信号用.光刻机专用. | 连接模块(品牌AMAT.光刻机专用.已制成特定形状.是由钢 | 气体控制单元(ASML,光刻机专用零件,控制气路的开和关, | 信号传输板(ASML.传输硅片平台数字信号用.光刻机专用) | 连接件(ASML.用于连接硅片工作台和马达.钢铁制.光刻机 | 信号传输板(ASML.传输调节器的数字信号.光刻机专用.不 | 激光束开闭装置(ASML.钢铁制.通过接受光刻机主机信号. | 导轨(ASML.硅片托盘沿着其上下运动.光刻机专用.钢铁制 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
3705009090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他摄影硬、软片（已曝光已冲洗） 电影胶片除外 光刻掩膜板 13% 千克 无 无 0% 70%
3705009010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 含有人类遗传资源信息资料的其他摄影硬、软片（已曝光已冲洗） 电影胶片除外 光刻掩膜板 13% 千克 V 无 0% 70%
3705009000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 光刻掩膜板 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8486203100 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 光刻掩膜版 | 无掩膜光刻机 | 光刻机 | 光刻机(旧) | 步进光刻机 | 精密光刻机 | 紫外光刻机 | 光刻机租金 | 半导体光刻机 | 步进式光刻机 | 步进光刻机(旧) | 扫描步进光刻机 | 深紫外线光刻机 | 二手设备光刻机 | 分布重复光刻机 | 分步重复光刻机 | 弹簧夹(光刻机用) | 步进式光刻机(旧) | 半导体加工光刻机 | 晶圆光刻机（旧） | 曝光光刻机（旧） | I线步进扫描光刻机 | 光刻机(旧）1999年制 | 旧曝光机(步进光刻机) | 步进式自动光刻机(旧) | 卷对卷分步重复光刻机 | 无掩模光刻机/实验室用 | 步进重复式光刻设备(旧) | 步进投影式先进封装光刻机 | 碲化镉薄膜电路板光刻机器 | 光刻机(旧)90年产.已用27年.还可用5年 | 制造半导体器件或集成电路用分步重复光刻机 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
3701992090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 照相制版用其他未曝光软片及硬片 非彩色摄影用,边长≤255mm 掩膜板(未光刻) | 掩膜板 用于光刻 | 超微粒干板,用于集成电路光刻程序 13% 千克 无 无 0% 40%
9031499090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他光学测量或检验仪器和器具 第90章其他税目未列名的 光刻机掩膜版缺陷检测装置 | 光刻机镜头组件校准工具 | 干涉计(ULTRATECH.光刻机用) | 传感器(ULTRATECH.光刻机用) | 佳能光刻机标准测试光罩 | 基板光刻尺寸光学检测机 | 位置检出组件/光刻机配件 | 传感器(光刻机等通用.NIKON) | 激光校准器(ULTRATECH.光刻机用) | 光学传感器/光刻机用/SERV.502.27725 | 位置检测器(品牌ASML.光刻机用.且非硅片制造 | 传感器位置测量器(品牌ASML.光刻机用.且非硅 | 位置测量装置(品牌ASML.光刻机用.且非硅片制 | 光电传感器(ASML.光刻机用.通过光学原理测量 | 位置传感器(Nikon.用于感应光刻机内运动部件 | 光电传感器(ASML.光刻机用.通过光学原理.将接 | 光路检测器(ASML.光刻机用.通过检测光信号的大 | 光学传感器(光刻机用.利用光学原理检测光罩的 | 线性位移传感器(SONY.检测光刻机内部部件的位移 | 光电传感器(光刻机用.通过光束是否被遮挡来检测 | 光路元件/调整仪光刻机用/检测并调整定位激光位置 | 线性位移传感器(SONY,检测光刻机内部部件的位移量及 | 加速计传感器(NIKON,用于检测光刻机内运动部件的加速 | 加速计传感器(NIKON.根据光学原理检测光刻机内运动部 | 光电传感器(ASML.光刻机用.通过光学原理测量镜头的聚 | 光路检测器(ASML.光刻机用.通过检测光信号的大小.检测 13% 台 无 无 0% 17%
9013200099 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他激光器 但激光二极管除外 激光器(旧.用于光掩膜设备起光刻光掩膜的作 | 激光器(旧.用于光掩膜设备起光刻光掩膜的作用.品牌COH | 激光刻码器 | 光刻机用激光器 | 光刻机用激光发生器 | 氦氖激光管/光刻机配件 | 激光管(光刻机用.品牌NIKON.用于产生 | 激光管(光刻机用.品牌NIKON.用于产生激光光 | 激光发生器(品牌UNIPHASE.光刻机用.用于产生 | 氦氖激光管(光刻机用.品牌NIKON.用于产生激 | 激光器(光刻机用.品牌NIKON.用于产生激光光 | 激光管(光刻机用.NIKON.用于产生激光光源.工 | 激光管(光刻机用.品牌NIKON.用于产生激光光源 | 激光发生器(品牌HP.光刻机用.用于产生激光光 | 氦氖激光管(光刻机用.品牌NIKON.用于产生激光 | 激光器.用于半导体套刻精度检查系统.品牌NANO | 激光发生器(光刻机提供激光光源用.通过激光二 | 激光器(光刻机用.品牌NIKON.用于产生激光光源.工 | 氦氖激光管(光刻机用.品牌NIKON.用于产生激光光源) | 激光管(光刻机用.NIKON.用于产生激光光源.工作波长 13% 个 无 无 0% 11%
9002909030 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 掩模版 掩膜板(ASML.已制成特定形状.光刻机用.经光学 | 掩模版，集成电路光刻机，已装配 13% 千克 无 无 0% 40%
9002909090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他光学仪器用未列名光学元件 但物镜,滤光镜除外 掩膜板(ASML.已制成特定形状.光刻机用.经光学加工已装 | 光刻版 | 光刻透镜 | 光刻铬版 | 光刻镜头 | 光刻反射镜 | 设备备件-光刻透镜 | 光刻透镜/光刻机配件 | 设备备件-光刻反射镜 | 光刻透镜(光刻机用.NIKON.已装配) | 激光刻印机零件：X方向扫描振镜 | 本体测中继镜头前群/光刻机配件 | 反射镜/光刻机用/已装配/7A22571602H | 光刻透镜(光刻机用.品牌NIKON.已装配) | 滤光镜(经光学加工已装配.光刻机用) | 光刻透镜(NIKON.光学成像用.经光学加工.已 | 光刻反射镜(光刻机用.品牌NIKON.已装配.经 | 光刻透镜(NIKON.经光学加工和装配.反射设备 | 光刻透镜(光刻机用.品牌NIKON.经光学加工已 | 透镜(ASML.光刻机用.用于光线折射.已装配.石 | 透镜(ASML.光刻机用.透射光用.已装备.石英制 | 光刻透镜(NIKON.光学成像用.经光学加工.已裁 | 透镜(ASML.光刻机用.透射光用.已装配.石英制 | 光刻透镜(NIKON.经光学加工和装配.成像.光刻 | 滤镜用固定圈(用于5500光刻机上的光学滤镜. | 光刻反射镜(光刻机用.品牌NIKON.已装配.经光 | 光束角度偏转器(ASML.光刻机光路系统用.由马 | 透镜(5500光刻机用.调整入射光的透射方式.使 | 透镜(ASML.光刻机用.改变激光的路径用于光源 | 光刻透镜(NIKON.经光学加工和装配.反射设备发 | 透镜(光刻机用.透射光用.已装配.石英玻璃制. | 光刻透镜(光刻机用.品牌NIKON.经光学加工已装 | 偏振片组件/晶片光刻检验用/改变激光偏振光 | 光刻反射镜(NIKON.经光学加工已装配.用于反射 | 光刻透镜(NIKON.光学成像用.经光学加工.已裁切 | 光刻透镜(NIKON.经光学加工和装配.成像.光刻机 | 激光透镜/光刻机台用/已装配/非物镜/7A22170110H | 透镜(ASML.光刻机用.透射光用.已装配.石英制.经 | 光刻透镜(NIKON.光学成像用.经光学加工.已裁切成 | 光刻透镜(光刻机用.品牌NIKON.经光学加工已装配) | 光刻透镜(NIKON.光学成像用.经光学加工.已裁切成型 | 透镜(ZEISS.光刻机用.调整入射光的透射方式.使光强分 13% 千克 无 无 0% 40%
8486303900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他将电路图投影或绘制到感光半导体材料上的装置 制造平板显示器用的机器及装置 光刻机;Midas;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚焦光实现曝光 | 无掩膜直写光刻机;Midrotechnik GmbH;将设计图形线路利用激光直写在涂有光刻胶之芯片等基材上;在掩膜板与光刻胶之间使用光学系统聚集光实现曝光 | 光刻胶显影机(旧) | 光刻胶涂胶机(旧) 13% 台 无 无 0% 100%
3824999999 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他编号未列名的化工产品 包括水解物或水解料、DMC（六甲基环三硅氧烷,八甲基环四硅氧烷,十甲基环五硅氧烷,十二甲基环六硅氧烷中任何2种,3种或4种组成的混合物 ） 光刻胶 | 光刻原液 | 去光刻胶液 | 光刻胶(层间) | 电镀用光刻胶 | 光刻胶去胶剂 | 光刻胶扩散剂 | 光刻胶收缩剂 | 光刻胶收缩液 | 光刻胶清洗剂 | 可固化光刻胶 | EKC175光刻胶去除剂 | 去除光刻胶用剥离液 | 正光阻液（光刻胶）EPG516 | 聚酰亚胺前体溶液(光刻胶) | 氟气/氪气/氖气混合气/光刻用 | 导热胶/光刻机零件导热用/ELECTROLUBE牌/HTC | 气体混合物/光刻机准分子激光用/43.5升/罐 | 有机硅氧烷多聚体溶液/瓶装/其余为水/光刻用 13% 千克 无 无 6.5% 35%
3707909010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 光刻胶 符合《税则》第三十七章章注二 光刻胶 | 去光刻胶液 | 光刻胶/光刻用/4升/瓶 | 光刻胶/T500/IP100/聚酰亚胺 | 光刻胶/光刻用/TOK牌/TDUR-P630 EL 12CP | 四甲基氢氧化铵,用于光刻胶涂布机 | 丙二醇甲醚醋酸酯(光刻胶去除溶剂) | 光刻胶/光刻用/瓶装/TOK牌/TDUR-P6158EL 16.7CP | 光刻胶/光刻工艺用/1加仑/瓶/TOK牌/无型号 | 光刻胶/光刻用/瓶装/TOK牌/TGMR-DP016 LE/无银 | 光刻胶/半导体生产用/瓶装/SHINETSU牌/无银 | 光刻胶/集成电路生产用/瓶装/JSR牌/ARAR3639910S | 光刻胶/集成电路生产用/瓶装/DOW牌/UV26 G/无银 | 显影液 用途:用于半导体制造过程中,光刻胶的 | 光刻胶/半导体生产用/3.79千克/瓶/ShinEtsu/SAIL-X187 | 光刻胶/光刻用/瓶装不含银JSR/ARF AIM6023JN-8/感光剂 | 光刻胶/半导体生产用/1加仑/瓶/TOK牌/无型号/无银 | 光刻胶/集成电路生产用/瓶装/无银/JSR牌/AIM9997JN-8 | AZ AX1120P光刻胶/光阻/芳香硫化盐 13% 千克 无 无 0% 35%
2912499090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他醛醚、醛酚 包括含其他含氧基的醛 光刻胶 13% 千克 无 无 5.5% 30%
3707901000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 冲洗胶卷及相片用化学制剂 包括摄影用未混合产品,定量或零售包装即可使用的 光刻胶 | 聚酰亚胺光刻胶用显影液 13% 千克 无 无 0% 100%
2912499000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 光刻胶 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
3506919090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他橡胶或塑料为基本成分粘合剂 包括以人造树脂(环氧树脂除外)为基本成分的 光刻胶 13% 千克 无 无 10% 90%
3911900090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他初级形状的多硫化物、聚砜等 等包括本章注释三所规定的其他编号未列名产品 光刻胶 13% 千克 无 无 6.5% 45%
3824999910 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 粗制碳化硅 其中碳化硅含量大于15%（按重量计） 光刻胶 | 光刻原液 | 去光刻胶液 | 光刻胶(层间) | 钝化层光刻胶 | 光刻胶扩散剂 | 光刻胶收缩剂 | 光刻胶收缩液 | 光刻胶清洗剂 | [消]光刻胶去除剂 | 去除光刻胶用剥离液 | 聚酰亚胺前体溶液(光刻胶) | 氟气/氪气/氖气混合气/光刻用 | 光刻胶去除剂(纯度等级高于PPM) | 导热胶/光刻机零件导热用/ELECTROLUBE牌/HTC | 气体混合物/光刻机准分子激光用/43.5升/罐 | 有机硅氧烷多聚体溶液/瓶装/其余为水/光刻用 0% 千克 4xy 无 6.5% 35%
3506990000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他编号未列名的调制胶,粘合剂 光刻胶 13% 千克 无 无 10% 90%
3707100001 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 不含银的感光乳液剂 光刻剂 | 光刻液 | PI光刻胶 | 负光刻胶 | 光刻胶版 | 光刻乳液 | 正型光刻胶 | 负型光刻胶 | 透明光刻胶 | 彩色光刻胶 | 白色光刻胶 | 住友光刻胶 | 黑色光刻胶 | 光刻胶(BM胶) | 光刻胶(样品) | 光刻胶(正型) | 光刻胶(黑色) | 光刻胶浓缩液 | 不含银光刻胶 | 光刻胶(亚克力) | 光刻胶收缩材料 | 光刻有机硅树脂 | 光刻机用感光剂 | 聚酰亚胺光刻胶 | BM光刻胶(不含银) | 光刻胶(感光乳液) | 乳酸乙酯(光刻胶) | 正性电子束光刻胶 | 芯片制造用光刻胶 | 黑色光阻(光刻胶） | KMP C5315 正性光刻胶 | 光刻胶/不含银成分 | 正性光刻胶(不含银) | 负性光刻胶(不含银) | 光刻胶(平坦层)BK08UH | 光刻胶/不含银.负型 | 光敏化合物，光刻胶 | 光刻胶（彩膜光刻胶） | 光刻胶/型号CDP-BQPTEST117-CH | 达兴牌光刻胶B612-SN1 3.5L/GAL | 负性光刻胶（照片光阻液） | 光刻胶,显影用,不含银,瓶装 | 光刻胶/用途:用于胶片的显影 | 聚酰亚胺前体溶液（光刻胶） | 光刻胶/用于芯片制造曝光工艺 | 光刻胶浓缩液/用途:用于胶片的显影 | 光刻胶,PHOTO RESIST,不含银,乳酸乙酯80% | 感光乳液,生产液晶屏用光刻胶,酚醛树脂30% | 感光乳液PHOTORESIST,用途:光刻胶.包装:4加仑/瓶, | 光刻胶浓缩液,生产液晶屏用光刻胶,酚醛树脂30% | 光刻胶/乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯40-60%,乳酸乙酯7-10%, | 光刻胶/乳酸乙酯40-60%,乙酸-1-甲氧基-2-丙基酯40-60% | 光刻胶ADN-SC3700R-4,用于生产液晶滤光片,包装:10千克 | 光刻胶SC-180,用途:用于保护晶片的氧化层和金属层, | 光刻胶/乳酸乙酯40-60%,乙酸戊酯2.5-3%,乙酸-2-甲基丁 | 光刻胶/牌:RoHM&HAAS/用于半导体工艺中,在硅片上产生 | 光刻胶/乳酸乙酯60-80%,乙酸丁酯7-10%/用于半导体工艺 | 光刻胶/乳酸乙酸60-80%,乙酸丁酯7-10%/用于半导体光刻 | 光刻胶/乳酸乙酯80%,乙酸丁酯7%/用于半导体光刻工艺中 13% 千克 无 无 8% 35%
3506100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他适于作胶或粘合剂的零售产品 零售包装每件净重不超过1千克 光刻胶 | 光刻机用密封胶 | 光刻机用粘合剂 13% 千克 无 无 10% 90%
8486209000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他制造半导体器件或集成电路用机器及装置 光刻机 | 激光刻印机 | 紫外光刻机 | 光刻浸湿装置 | 光刻胶清洗台 | 光刻涂胶机(旧) | 光刻胶涂布装置 | 光学系统式V刻机 | 光刻机(实验室用) | RIE 光刻去胶机(旧) | 激光直写光刻系统 | 高精度双面光刻机 | 半导体光刻显影系统 | 光刻胶去除清洗设备 | 自动涂光刻胶显影剂机 | 光刻胶去除清洗设备(旧) | 光刻胶喷涂设备/实验室用 | 扫描式光刻机/半导体工业用/ASML牌 | 光刻胶去除清洗设备/NOVELLUS牌/GAMMA 2 13% 台 无 无 0% 30%
3707100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他感光乳液 光刻胶 | 光刻负胶 | [消]光刻胶 | 正性光刻胶 | 彩色光刻胶 | 透明光刻胶 | 光刻胶/不含银 | 光刻胶/制造芯片 | 高温光刻涂覆材料 | 光刻胶/芯片生产用 | 负性光刻胶 (RFJ-220) | 光刻胶（乳酸乙脂） | 光刻胶/半导体光刻工艺用 | 光刻胶/刻蚀集成电路图形用 | 光刻胶/用于芯片制造曝光工艺 | 显影液,用作半导体的光刻显影剂 | 光刻胶/用于覆盖晶体表面起保护作用 | 光刻胶/用于覆盖晶片表面起保护作用 | 光刻胶/TORAY牌/用于光刻工序中在暗室里将胶涂在芯片 13% 千克 无 无 8% 35%
9001909090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目9001未列名的其他光学元件 未经光学加工的玻璃制元件除外 光刻胶版 | 光刻铬板 | 光刻铬版 | 光刻机用滤光片 | 透镜(ULTRATECH.光刻机用) | 反射镜/光刻机用/石英制 | 透镜(不带框架光刻机用) | 反射镜(未装配光刻机用) | 光刻机用反射镜调整装置 | 折射镜(ULTRATECH.光刻机用) | 平面镜(ULTRATECH.光刻机用) | 过滤镜(ULTRATECH.光刻机用) | 光学滤光镜片/光刻机配件 | 反射镜(品牌ASML.适用机型PASS5500.光刻机用. | 透镜(ASML.光刻机重整光束用.石英制.经光学加 | 透镜(JENOPTIK牌.光刻机重整光束用.玻璃石英制 | 透镜(品牌CYMER.光刻机用.起到重整光束的作用 | 滤光镜(XT光刻机用.通过镜片上的镀膜来过滤除 | 滤光镜(XT光刻机用.通过镜片上的镀膜来过滤除了 | 透镜(JENOPTIK牌.光刻机重整光束用.玻璃石英制.经光学 13% 千克 无 无 0% 20%
3926909090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他塑料制品 包括品目3901至3914所列材料的制品 光刻胶版 | 扎带(ASML.光刻机用.固定设备排线.聚氯乙烯材 | 保护罩(品牌ASML.用于光刻机温控单元外部保护 13% 千克 无 无 10% 80%
3702429290 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他未曝光红色或红外激光胶片 610 mm< 宽度 ≤ 800 mm, 200 m<长度≤1000m 光刻胶板 13% 千克 无 无 2.4元/平方米 213元/平方米
3701910000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他用未曝光彩色硬片及平面软片 边长≤255mm 光刻胶板 | 光刻胶版 13% 千克 无 无 20% 70%
9031900090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目9031的仪器及器具的其他零件 第90章其他品目未列名的 轴光刻尺 | 激光刻印机用专用托盘 | 光刻工艺位置校准片SET GR/MAT CAL WAF 300 SI NO | 信号处理模块(品牌ASML.专用于NXT机型光刻机 | 基板光刻尺寸光学检测机零件（温控单元） | 编码器刻线(VEA牌.光刻机定位系统专用刻尺度 | 信号传输板(用于光刻机中的光罩检测系统,从 | 信号处理传输板(用于光刻机中的光罩检测系统. | 编码器刻线(VEA牌.光刻机定位系统专用刻尺度.上面有 13% 千克 无 无 0% 17%
7326901900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他工业用钢铁制品 光刻支架 | 光刻机用基架 | 支架(ULTRATECH.光刻机用) | 光刻胶密闭储罐用托盘 | 旋钮(NIKON.钢铁制.专用于光刻机机台控制面 | 密封塞(ASML.工业用.不锈钢制.光刻机密封用. | 旋钮(NIKON.钢铁制.专用于光刻机机台控制面板上的) | 密封塞(ASML.工业用.不锈钢制.光刻机密封用.锻造.经进 | 连接件(ASML.工业用.钢铁制连接件.用于连接光刻机零件 | 导轨(起到轨迹导向作用.光刻机用.钢铁制.种类为导轨. 13% 千克 无 无 8% 40%
3701992001 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 石英玻璃基质的未曝光感光硬片 光刻模板 13% 千克 无 无 0% 40%
8467110000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 旋转式手提风动工具 包括旋转冲击式的 气动刻磨光 13% 台 无 无 8% 30%
8479899990 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 本章其他未列名机器及机械器具 具有独立功能的 激光刻印机 | 电子束光刻机 | 光刻胶滴胶装置 | 激光刻印控制系统/激光刻印机零件/旧 | 激光刻印控制系统（激光刻印机零件)/旧修理费 13% 台 A M/ 0% 30%
8473309000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目8471所列其他机器零附件 光刻ITO膜片 | 内存(NIKON.光刻机内工业计算机微型机用) | 信号处理板(ASML.光刻机用.自动数据处理部件 | 主板(光刻机工业计算机微型机用.NIKON.不带CP | 信号处理板(微型机专用板.处理传输光刻机驱 | 内存卡(无品牌.用于存储信息用.适用光刻机工 | 信号处理板(微型机专用板.处理传输光刻机驱动 13% 千克 无 无 0% 40%
8456110090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他用激光处理的机床 激光光刻机 | 激光印刻机 | 激光打刻机 | 激光刻标机 | 激光刻码机 | 激光刻码站 | 旧激光刻印机 | CO2激光刻印机 | 激光刻码机(旧) | 光栅刻写工作台 | 激光刻印机，旧 | 眼镜片激光刻标机 | 激光刻印机/含配件 | 组装机激光刻码模组 | 激光刻印机(旧/货价) | 激光刻印机(旧/修理费) | 旧二维码标识激光刻印机 | 刻印机头（激光刻印机部件） | 雕刻产品信息用激光刻码机/新 13% 台 无 无 0% 30%
8481803990 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他流量阀 用于管道、锅炉、罐、桶或类似品的 光刻胶阀门 13% 套 无 无 7% 30%
8424909000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 光刻胶喷嘴 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8471703000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 光盘驱动器 自动数据处理设备的光盘驱动器 可刻入光驱 | 带刻读功能光盘驱动器 | 光盘驱动器(带红光刻读功能) | 光盘驱动器(带蓝光刻读功能) 13% 台 无 无 0% 14%
3906909000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 光刻胶树脂 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
9010909000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他洗印用装置的零件、附件 光刻机零件 13% 千克 无 无 0% 100%
8486401000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 主要用于或专用于制作和修复掩膜版或投影掩膜版的装置 掩膜版(mask),投影掩膜版(reticle) 激光光刻机 | 分步重复光刻机 | 激光直写光刻设备 13% 台 无 无 0% 70%
8466939000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目8456-8461机器用其他零件 激光刻印机 | 激光刻印机(镭雕头) | 激光刻印机用承载台 | 基板/激光刻印机零件 | 透光片/激光刻印机零件 | 保护壳/激光刻印机零件 | 激光刻印机零件: 固定块 | 激光刻印机零件: 对位板 | 激光刻印机零件: 承载台 | LDE灯基板/激光刻印机零件 | 光刻机机座（光刻机零件） | 激光刻印机零件: 料件取放头 | 光刻机线性滑轨平台（光刻机零件） 13% 千克 无 无 0% 17%
8456120000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 用其他光或光子束处理的机床 激光刻印机 13% 台 无 无 0% 30%
3825610000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 主要含有有机成分的化工废物 其他化学工业及相关工业的废物 光刻胶废液 | 光刻胶/边角料/下脚料 0% 千克 9 无 6.5% 35%
3920999090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非泡沫塑料板,片,膜,箔,扁条 未用其他材料强化、层压、支撑 光刻胶干膜 13% 千克 无 无 6.5% 45%
8456309090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非数控的放电处理加工机床 激光刻码机 13% 台 无 无 10% 30%
9002199090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目9002未列名的其他物镜 光刻反射镜 | 光刻机物镜 | 光刻机用物镜 | 光刻机用镜头 | 设备备件-光刻反射镜 | 光刻反射镜/光刻机配件 | 光刻反射镜(光刻机用.品牌NIKON.已装配) | 激光反射镜(GIGAPHOTON.物镜.光刻机用.已装 | 光刻反射镜(光刻机用.NIKON.经光学加工已 | 激光反射镜(GIGAPHOTON.物镜.光刻机用.已装配) | 光刻反射镜(光刻机用.NIKON.经光学加工已装配) | 光刻机用物镜(ZEISS.石英玻璃制.经光学加工.光 13% 千克 无 无 0% 50%
9001909040 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 液晶显示屏背光模组的光学元件 包括导光板、反射板、扩散片、增亮片 49"光刻导光板 13% 千克 无 无 0% 20%
8486204900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他制造半导体器件或集成电路用刻蚀及剥离设备 光刻胶刻蚀机 | 光刻胶剥离机 | 光刻胶去除机 | 激光划刻系统 | 光刻胶剥离设备 | 光刻胶去除设备（旧） | 湿法去胶机（旧）/溶解硅片表面多余光刻胶 13% 台 无 无 0% 30%
8479909090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 税目84.79所列机器的其他零件 光刻胶匀胶轮 | 光刻胶涂布轮 | 激光刻印机用工作台 13% 千克 无 无 0% 20%
3923100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他塑料制盒,箱及类似品 包括塑料制板条箱,供运输或包装货物用的 光刻胶储藏箱 13% 千克 无 无 10% 80%
3402900090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 非零售包装有机表面活性剂制品 包括洗涤剂及清洁剂,不论是否含有肥皂 光刻胶去除剂 13% 千克 无 无 6.5% 80%
9106900000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他时间记录器及其他类似装置 包括测量、记录或指示时间的装置 光刻机计时器 | 计时器(光刻机系统内部计时用) 13% 只 无 无 10% 50%
8501109990 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他微电机 输出功率不超过37.5瓦 光刻机用马达 | 光刻机用直流马达 | 微型马达(光刻机用.用于驱动.输出功率10W.机 | 马达(ASML.用于驱动光刻机镜头孔径大小.机座 | 直流驱动马达(光刻机用.驱动转盘转动以得到不同 | 马达(ASML.用于驱动光刻机镜头孔径大小.机座尺寸2CM. | 微型马达(光刻机用.用于驱动.输出功率10W.机座尺寸4CM 13% 台 无 无 9% 35%
7307220000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 不锈钢制螺纹肘管、弯管、管套 光刻机用气管 0% 千克 无 无 8% 20%
8716800000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他未列名非机械驱动车辆 光刻机用推车 13% 辆 6 无 10% 80%
2933790099 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他内酰胺 光刻胶去除剂 13% 千克 无 无 9% 20%
2931900090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他有机-无机化合物 光刻胶添加剂 13% 千克 AB M.R/N.S 6.5% 30%
3814000000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 有机复合溶剂及稀释剂,除漆剂 指其他编号未列名的 光刻胶稀释剂 | 稀释液(光刻显像稀释剂) | 光刻胶稀释剂（丙二醇甲醚醋酸脂） 0% 千克 无 无 10% 50%
7310299000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 容积＜50升的其他盛物容器 钢铁柜、桶、罐、听及类似容器 光刻胶密闭储罐 13% 千克 A R/ 8% 70%
2930909099 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他有机硫化合物 PBG光刻胶引发剂 | PBG光刻胶引发剂 二苯硫醚酮肟酯 | PBG光刻胶引发剂/肟脂类高感度光引发剂 13% 千克 无 无 6.5% 30%
7309000000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 容积＞300升钢铁制盛物容器 容积＞300升的囤、柜、桶、罐、听及类似容器 光刻胶密闭储罐 13% 千克 无 无 8% 35%
3926901000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 塑料制机器及仪器用零件 光刻机用塑料罩 | 光刻机零件-垫片 | 密封圈(ASML.光刻机密封圈.塑料) | 密封圈(ASML.光刻机密封用.塑料) | 密封圈(ASML.塑料制.光刻机密封用) | 圆形垫圈(ASML.光刻机密封用.塑料材质) | 密封圈(ASML.光刻机密封用.塑料制.一套30个) | 密封圈(ASML.塑料制.光刻机密封用.一套10个) | 传动带(ASML.光刻机用.通过马达带动起到传动 | 传动带(品牌ASML.光刻机用.传动马达的输出使 | 塑料环(ASML.光刻机用连接两个模块.聚乙烯材 | 固定件(ASML牌.用于光刻机机台上固定备件.圈 | 轮子(ASML.塑料制.用于光刻机硅片平台的移动. | 铰链(ASML.聚丙烯制.盖板连接用.光刻机用.一套 | 密封圈(ASML.塑料制.硅片平台密封用.光刻机用) | 传动带(品牌ASML.光刻机用.传动马达的输出使其 | 盖板(用于保护光刻机温控单元.防止灰尘进入机 | 传动带(品牌ASML.光刻机用.传动马达的输出使其正常运 | 轮子(ASML.塑料制.用于光刻机硅片平台的移动.光刻机用 13% 千克 无 无 10% 35%
8486901000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 升降、搬运、装卸机器用零件或附件 子目848640项下商品用,但自动搬运设备用除外 光刻机机械手臂 | 光刻机装卸装置 | 光刻机传输设备用架子 | 机械传送臂/光刻机配件 | 机械手臂（光刻机机械手专用） | 设备备件-机械手臂(光刻机机械手专用) | 机械臂(ASML,光刻机传送晶片用零件,钢铁制) | 晶圆传送组件(NIKON.光刻机用.钢铁制.用于传 | 机械传送臂(光刻机内搬运硅片的工业机器人 | 晶圆传送组件(NIKON.光刻机传送晶圆装置零件 | 晶圆传送组件(NIKON.光刻机用.钢铁制.用于传送 | 机械传送臂(光刻机内搬运硅片的工业机器人专 | 晶圆传送装置(NIKON,光刻机传送晶圆装置用零件 | 机械传送臂(NIKON.已制成特定形状.专用于光刻机 | 机械传送臂(光刻机内搬运硅片的工业机器人专用) | 晶圆传送组件(NIKON.光刻机用.钢铁制.用于传送晶圆) | 机械手臂(NIKON.光刻机内搬运硅片的专用零件.已制成 | 机械传送臂(NIKON.光刻机内搬运硅片的工业机械人专用) | 机械传送臂(NIKON.已制成特定形状.专用于光刻机内搬运 13% 千克 无 无 0% 30%
8203400000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 切管器、螺栓切头器、打孔冲子等 光刻机用切管器 13% 千克 无 无 8% 50%
8420100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他砑光机或滚压机器 加工金属或玻璃用的除外 光刻胶涂覆设备 13% 台 无 无 8% 30%
2933990099 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他仅含氮杂原子的杂环化合物 PBG光刻胶引发剂 | 9-取代吖啶光刻胶引发剂 | PBG光刻胶引发剂 咔唑肟酯 | PBG光刻胶引发剂;咔唑酮肟酯 13% 千克 无 无 6.5% 20%
2934999001 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 核苷酸类食品添加剂 PBG光刻胶引发剂 | PBG光刻胶引发剂(咔唑肟酯) 13% 千克 A R/ 6.5% 20%
7310100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 50L≤容积≤300L的其他钢铁制盛物容器 钢铁柜、桶、罐、听及类似容器 光刻胶密闭储罐 13% 千克 无 无 8% 40%
8486403100 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] IC工厂专用的自动搬运机器人 光刻机用机械手 | 光刻机用机械手臂 | 机械手(ASML,抓取晶圆片,光刻机用自动搬运装置) 13% 台 无 无 0% 20%
8536901900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他36伏<电压≤1000伏的接插件 光刻机用接插件 | 接插件(光刻机连接电路用.ASML牌.380V) 13% 千克 A L/ 0% 50%
8486303100 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 制造平板显示器用分步重复光刻机 分步投影光刻机 | 激光全息图像光刻机 | 制造平板显示器用分步重复光刻机 13% 台 无 无 0% 100%
2934999099 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他杂环化合物 PBG光刻胶引发剂 | PBG光刻胶引发剂 咔唑肟酯 13% 千克 无 无 6.5% 20%
7310219000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 容积＜50升的其他焊边或卷边接合钢铁罐 光刻胶密闭储罐 | 光刻胶密闭储罐(钢制) 13% 千克 无 无 8% 70%
8486304900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他制造平板显示器用湿法蚀刻、显影、剥离、清洗装置 光刻胶剥离装置 13% 台 无 无 0% 30%
8465960000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 加工木材等材料的剖,切,刮削机器 加工木材,软木,骨,硬质橡胶,硬质塑料及其他硬质材料 光学系统式V刻机 13% 台 无 无 9% 30%
8544421100 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 额定电压≤80伏有接头电缆 电缆/光刻机配件 | 电缆(ULTRATECH.光刻机用) | 有接头电缆/光刻机配件 | 电缆(品牌ABB.光刻机传输信号用.额定电压24 13% 千克 无 无 0% 20%
8544421900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 额定电压≤80伏有接头电导体 排线/光刻机配件 13% 千克 无 无 0% 70%
8504409999 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他未列名静止式变流器 充电器/光刻机用 | 变频器/光刻机配件 | 频率变频器/光刻机配件 | 变频器/光刻机硅片平台用 | 交流电变换器(NEWAYS牌.光刻机用静止式变流 | 直流电变换器(ASML.光刻机用.用于改变直流电 | 变频器(用来改变交流电的频率.光刻机用.500W | 直流电变换板(ASML.光刻机用.改变直流电电压 | 整流器(ASML.将交流电转化成直流电.提供光刻 | 整流器(ASML.将交流电转换成直流电.光刻机用 | 直流电变换器(ASML.光刻机用.且非计算机用.改 | 整流器(ASML.将交流电转化成直流电.提供光刻机 | 直流电变换器(ASML.光刻机用.用于改变直流电电压 | 变频器(ASML.光刻机硅片平台用.调整输出电源的电 | 交流电变换器(NEWAYS牌.光刻机用静止式变流器.改变 | 整流器(ASML.将交流电转化成直流电.提供光刻机测量系 | 直流电变换器(ASML.光刻机用.且非计算机用.改变直流电 | 直流电变换器(ASML.光刻机用.用于改变直流电电压.静止 13% 个 无 无 0% 30%
9013809000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 激光刻码设备单元 | 光学镜盘组/光刻机用 | 激光直接成像光刻机/成套件 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
9032899010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 具有可再生能源和智能电网应用的自动电压和电流调节器；非液压或气压的自动调控流量、液位和湿度的仪器 自动控制、调节装置 光刻机流程控制器 | 激光刻码机内部控制板卡 | 自动调节控制器/光刻机用 | 传送控制器(旧)/Nikon牌/光刻机用 | 冷却水柜控制器/ASML牌/无型号/光刻机用 | 光强控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置 | 激光控制器(GIGAPHOTON.光刻机用自动控制装置 | 水循环控制器(ASML.光刻机水循环系统用.根据 | 激光控制器(品牌:GIGAPHOTON.光刻机用自动控制 | 信号控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于 | 光强控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于 | 光刻机流程控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置 | 水平控制组件(NIKON.通过检测光刻机曝光品台水 | 自动调节控制器(光刻机硅片平台用.检测硅片平 | 信号控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根 | 自动控制器(光刻机用.控制设备超纯气体的流量 | 伺服控制器(NIKON.光刻机用.根据设定值自动控制 | 伺服控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根 | 传送控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根据 | 伺服控制器(NIKON.光刻机用.根据设定值自动控制伺 | 激光控制器(GIGAPHOTON.光刻机用自动控制装置.用于根 | 信号控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根据设 | 光刻机流程控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于 | 光强控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根据设 | 激光控制器(品牌:GIGAPHOTON.光刻机用自动控制装置.用 | 水循环控制器(ASML.光刻机水循环系统用.根据传感器信 | 信号控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根据设定 | 光刻机流程控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根 | 传送控制器(NIKON.光刻机用自动控制装置.用于根据设定 13% 台 无 无 7% 17%
3208909010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 分散于或溶于非水介质的以其他合成聚合物或化学改性天然聚合物为基本成分的油漆及清漆（包括瓷漆及大漆），施工状态下挥发性有机物含量大于420克/升；其他符合本章注释四的规定，且施工状态下挥发性有机物含量大于420克/升的涂料 光刻胶.型XR-1541-002 | 电子束光刻胶.型XR-1541-002 0% 千克 A L.M/ 10% 50%
8482109000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他滚珠轴承 光刻机用滚珠轴承 | 偏心滚珠轴承(ASML.光刻机用.滚珠和内环结构 13% 套 无 无 8% 20%
3917330000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他装有附件的塑料管子 未经加强也未与其他材料合制 光刻机用塑料水管 | 塑料管/树脂/无附件/未加强/光刻机用 | 气管(ASML.塑料制软管.为光刻机输送氦气用.7 | 管子/聚乙烯/有附件/未加强未合制/光刻机用 | 塑料软管(成分聚乙烯100%.用于光刻机中导通流 13% 千克 无 无 6.5% 45%
4908900000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他转印贴花纸 移画印花法用图案纸 荧光型电脑刻字贴 13% 千克 无 无 6% 50%
8539324090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他汞蒸汽灯 光刻机用高压汞灯 | 步进光刻机用汞灯 | 汞灯(ULTRATECH.光刻机用) | 汞灯(GIGAPHOTON.汞灯具.当做光源用.光刻机 13% 只 无 无 8% 20%
7616991090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他工业用铝制品 不包括铝丝布、网、格栅及栅栏 光刻机主机包装箱 | 光刻机用铝制防护罩 | 光刻机搬运包装箱(部件) | 连接杆(ULTRATECH.光刻机用) | 铝制贴膜(工业用.贴于光刻机机台上.密封防水 | 铝制保护盖(工业用.罩在光刻机上.保护传感器 13% 千克 无 无 8% 40%
9002209000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 滤光镜/光刻机配件 | 光刻机用已装配滤色镜 | 滤光镜(NIKON.光刻机用.已装配) | 滤光镜(光刻机用.品牌NIKON.已装配) | 滤光镜(NIKON.光刻机用.经光学加工已装配) | 滤光镜(品牌ASML.即滤色镜.光刻机用.过滤光 | 滤色镜(品牌JENOPTIK.光刻机用.过滤紫外线光 | 滤光镜(光刻机用.品牌NIKON.已装配.经光学加 | 滤色镜(ZEISS.改变光学性能.已装配.光刻机用) | 滤色镜(ZEISS.石英玻璃制.过滤紫外线光刻机曝 | 滤光镜(光刻机用.品牌NIKON.已装配.经光学加工 | 滤光镜(光刻机用.品牌NIKON.经光学加工已装配) | 滤色镜(品牌ASML.光刻机用.过滤紫外线光使光刻 | 滤光镜(品牌ASML.即滤色镜.光刻机用.过滤光线.玻璃制. | 滤色镜(ZEISS.改变光学性能.过滤紫外线光使光刻机曝光 | 滤色镜(ZEISS.过滤紫外线光使光刻机曝光效果更加均匀. 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8501109190 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他微电机，机座尺寸在20毫米及以上，但不超过39毫米 输出功率不超过37.5瓦 微电机/光刻机配件 | 微电机(旧)/光刻机用 | 微电机(旧)/光刻机用/HAMONIC牌 | 微电机(光刻机用,NIKON,<=37.5瓦,20MM至39 | 微电机(光刻机用,品牌NIKON,<=37.5瓦,20MM至 | 微电机(NIKON.光刻机用.功率小于等于37.5瓦 | 微电机(光刻机用.品牌NIKON.小于等于37.5瓦 | 微电机(NIKON.光刻机用. | 微电机(光刻机用.品牌NIKON. | 微电机(NIKON,驱动用,功率<=37.5瓦,20MM至39MM,光刻机 13% 台 无 无 9% 70%
9032100000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 恒温器 恒温器/光刻机配件 | 恒温器(光刻机用自动控制装置.NIKON.根据设 | 恒温器(光刻机用自动控制装置,NIKON,根据设定值 | 恒温器(光刻机用自动控制装置.NIKON.根据设定值自 | 恒温器(NIKON.光刻机用自动控制装置.根据设定值自动 13% 台 无 无 7% 17%
7318240000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 销及开尾销 定位销/光刻机配件 | 定位销(ASML.不锈钢制.用于固定硅片平台.光刻 | 定位销(ASML.不锈钢制.用于固定簧片.光刻机用 | 定位销(ASML.钢铁制.用于固定晶圆平台.光刻机 | 插销(ASML.光刻机曝光台导轨的定位.不锈钢制) 13% 千克 无 无 8% 80%
8481100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他减压阀 用于管道、锅炉、罐、桶或类似品的 减压阀/光刻机配件 13% 套 无 无 5% 30%
9031492000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 光栅测量装置 第90章其他品目未列名的 光栅尺/光刻机配件 | 线性位移传感器(MAGNESCALE.检测光刻机内部部 | 线性位移传感器(MAGNESCALE.检测光刻机内部部件 13% 台 无 无 0% 17%
2933790091 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 来那度胺 光刻胶去除剂 EKC830 13% 千克 无 无 9% 20%
3707909090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他摄影用化学制剂 包括摄影用未混合产品 显影液(光刻显像剂) | 显像液.显影液(光刻显像剂) | 光敏抗蚀剂/光刻用/塑料瓶装/0.1-3%感光剂 | 光阻/聚氢氧基乙烯苯型树脂45-60%光刻用/瓶装 | 显影液/光刻机曝光后显影成形用/500ml/瓶/无银/Nalco | 光阻/ 聚氢氧基乙烯苯型树脂45-60%/光刻用/瓶装/tok牌 13% 千克 无 无 0% 35%
9031410000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 制造半导体器件（包括集成电路）时检验半导体晶圆、器件（包括集成电路）或检测光掩模或光栅用的仪器和器具 第90章其他税目未列名的 光学套刻测量仪(旧) | 晶圆检测器(光刻机用.利用光学原理扫描晶圆表 | 晶圆检测器(光刻机用.是在半导体器件制造过程 13% 台 无 无 0% 17%
8421299090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他液体的过滤、净化机器及装置 光刻机用液体过滤器 13% 个 无 无 5% 40%
8421399010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 装备不锈钢外壳、入口管和出口管内径不超过1.3厘米的其他气体过滤或净化机器及装置 光刻机用气体过滤器 | 气体过滤器(ASML.光刻机用清洁空气.通过活性 | 气体过滤器(品牌ASML.光刻机用.通过内部的PTFE | 气体过滤器(品牌KV.光刻机用.过滤气体.利用吸 | 气体过滤器(ASML.光刻机用清洁空气.通过活性碳与滤网 13% 个 无 无 0% 40%
4016931000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他硫化橡胶制密封制品 硫化橡胶密封圈,机器、仪器用,硬质橡胶的除外 光刻机用密封圈GASKET | 垫圈(密封用.硫化橡胶.ASML.光刻机专用) | 垫片(NIKON.密封用.硫化橡胶制.光刻机用) | O型圈(NIKON.密封用.硫化橡胶制.光刻机用) | 橡胶环(ASML.光刻机密封用.硫化橡胶材质) | 密封垫(NIKON.密封用.硫化橡胶制.光刻机用) | 垫圈(ASML.光刻机用.密封用.一套7个.单层.硫 | 密封垫圈(ASML.硫化橡胶制.密封用.光刻机用) | 密封圈(ASML.硫化橡胶制.密封作用.光刻机用) | 密封垫圈(ASML.橡胶制.用于密封水管.光刻机用) | 密封条(NIKON.硫化橡胶制.用于防水密封用.光刻 | 密封垫圈(ASML牌.用于光刻机中起密封作用.硫化 | 密封垫圈(ASML.硫化橡胶制.密封水管用.光刻机用) | 垫圈(ASML.光刻机用.密封用.一套7个.单层.硫化橡胶制 | 密封垫圈(ASML.硫化橡胶制.用于密封过滤器.光刻机用) 13% 千克 无 无 8% 30%
8523492010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 含人类遗传资源信息资料的用于重放声音、图像以外信息的光学媒体 金橙子激光标刻软件 | 刻有数据的电脑光碟片 | 光盘/用于光刻机软件系统升级/系统升级软件 9% 张 V 无 0% 14%
8421999090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他过滤、净化装置用零件 激光刻印机零件:滤芯 | 激光刻印机零件:冷却水滤芯 | 过滤网(ASML.光刻机水柜过滤器用零件.非滤芯. | 过滤网(ASML.过滤水中杂质.光刻机水柜过滤器用 | 过滤网(ASML.过滤水中杂质.光刻机水柜过滤器用零 | 过滤网(ASML.光刻机水柜过滤器用零件.非滤芯.已装配外 13% 千克 无 无 5% 40%
8481804090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他阀门 用于管道、锅炉、罐、桶或类似品的 节流阀(光刻机用.NIKON) | 控制阀(品牌SMC.NXT光刻机用.非气压或液压传 | 控制阀(ASML.光刻机用.用于控制气体管路的通 | 控制阀(ASML.用于光刻机气路循环系统.通过给 | 控制阀(光刻机用.通过阀门的开关控制管路中 | 电磁阀(光刻机用.气路循环系统用.用于控制气 | 控制阀(光刻机用.且非气压或液压系统用.通过阀 | 控制阀(用于光刻机.非气压或液压传动系统用.控 | 控制阀(ASML.用于光刻机气路循环系统.通过给予不同的 | 控制阀(品牌SMC.NXT光刻机用.非气压或液压传动系统用. 13% 套 无 无 7% 30%
8536500010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 电压≤1000伏的其他开关，含汞 开关(ASML.光刻机用.24V) | 开关(ASML.光刻机专用.达到控制电路开闭目.2 13% 个 89 无 0% 50%
3204170010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 彩色光刻胶用光刻胶颜料分散液 彩膜光刻胶(绿色光阻) | 彩色光刻胶用光刻胶颜料分散液 13% 千克 无 无 6.5% 35%
9026209090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他测量、检验压力的仪器及装置 光刻机用气压测量装置 | 气压检测器(ULTRATECH.光刻机用) 13% 个 无 无 0% 17%
8545200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 碳刷 不论是否带金属 碳刷(ULTRATECH,光刻机用) 13% 千克 无 无 10% 35%
8523492090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他用于重放声音、图像以外信息的光学媒体 品目8471所列机器用，已录制 刻有数据的电脑光碟片 | 平板显示器光刻胶涂覆机系统升级软件 9% 张 无 无 0% 14%
8487900000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 本章其他编号未列名的机器零件 不具有电气接插件、绝缘体、线圈或其他电气器材特征的 滑轨(ULTRATECH.光刻机用) 13% 千克 无 无 8% 30%
2927000090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他重氮化合物、偶氮化合物等 包括氧化偶氮化合物 生产光刻胶用重氮萘醌 13% 千克 无 无 6.5% 30%
8536690000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 电压≤1000伏的插头及插座 插座(ULTRATECH,光刻机用) 13% 个 无 L/ 0% 50%
8205590000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他手工工具 包括玻璃刀 光刻机用成套手工工具 13% 千克 无 无 8% 50%
2928000090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他肼(联氨)及胲(羟胺)的有机衍生物 PBG光刻胶引发剂 酮肟酯 13% 千克 无 无 6.5% 20%
9026100000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 测量、检验液体流量或液位的仪器 液体流量计/光刻机配件 | 漏水感知器(ULTRATECH.光刻机用) | 流量感知器(ULTRATECH.光刻机用) | 液体流量计(NIKON.用于测量液体流量.光刻机用 | 水位检测器(ASML.用于检测光刻机冷却系统中水 | 液体流量监测计(ASML.用于监测流入光刻机的冷 13% 个 无 无 0% 17%
8543709200 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他高,中频放大器 信号放大器/光刻机配件 | 信号放大器(NIKON,光刻机用中高频信号放大器 | 信号放大器(放大光刻机内晶圆承载台控制电路 | 信号放大器(NIKON,光刻机用中高频信号放大器,用 | 信号放大器(NIKON,用于放大光刻机内晶圆承载台控 | 信号放大器(NIKON,光刻机用中高频信号放大器,用于 | 信号放大器(NIKON,用于放大光刻机内晶圆承载台控制电 | 信号放大器(NIKON,中高频信号放大器,用于放大光刻机内 | 信号放大器(NIKON,光刻机用中高频信号放大器,用于放大 | 信号放大器(光刻机用中高频信号放大器.用于放大光刻 13% 台 无 无 0% 17%
9032900090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他自动调节或控制仪器零件、附件 显微镜基板/光刻机配件 | 控制器基板(NIKON.光刻机自动对焦装置用零件.通过 13% 千克 无 无 5% 17%
4010390000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他硫化橡胶制的传动带及带料 环形同步带/光刻机配件 | 传动带(ASML.光刻机传动用.条状.硫化橡胶制. 13% 千克 无 无 8% 35%
8501310000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他输出功率≤750瓦的直流电动机、发电机 不包括光伏发电机 直流电动机/光刻机配件 | 线性马达组件/光刻机配件 | 直流马达(ULTRATECH.光刻机用) | 马达(ASML.直流.光刻机用.输出功率90W) | 直流电动机(NIKON.光刻机用.输出功率小于 | 直流电动机(NIKON,光刻机用,输出功率小于750瓦) | 直流电动机(NIKON,光刻机用,输出功率小于750瓦,提 | 直流电动机(品牌NIKON.光刻机用.输出功率小于750瓦) 13% 台 无 L/ 12% 35%
2847000000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 过氧化氢 不论是否用尿素固化 过氧化氢/去除光刻胶用 0% 千克 AB M.R/N.S 5.5% 30%
8538900000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目8535、8536、8537装置的零件 专用于或主要用于 端子壳/激光刻印机零件 | 数控装置用信号分配板/光刻机配件 | 数控装置用信号分配板(光刻机数控电气控制 | 数控装置用信号分配板(NIKON,专用于光刻机数 | 信号转换板(ASML.光刻机电气控制柜专用零件. | 数控装置用信号分配电路板(NIKON.专用于光刻机 | 数控装置用信号分配电路板(专用于光刻机数控 | 数控装置用信号分配板(NIKON.专用于光刻机数控 | 信号传输板(光刻机中的电力控制装置用.通过内 | 操作面板(光刻机电气控制装置专用零件.NIKON.用 | 数控装置用信号分配板(光刻机数控电气控制装置 | 数控装置用信号分配板(NIKON.专用于光刻机数控电 | 数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气制 | 数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制 | 数控装置用信号分配板(光刻机数控电气制装置上用 | 数控装置用信号分配板(光刻机数控电气控制装置上 | 数控装置用信号分配板(NIKON,专用于光刻机数控电气 | 数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气控制装 | 数控装置用信号分配板(光刻机数控电气控制装置上用 | 数控装置用信号分配电路板(NIKON.专用于光刻机数控电 | 数控装置用信号分配电路板(专用于光刻机数控电气控 | 数控装置用信号分配板(NIKON,专用于光刻机数控电气控 | 信号转换板(ASML,光刻机电气控制柜专用零件,信号转换 | 信号转换板(ASML,光刻机电气控制柜专用零件,接收光信 | 数控装置用信号分配板(专用于光刻机数控电气制装置 13% 千克 无 L/ 7% 50%
8536700000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 光导纤维、光导纤维束或光缆用连接器 光缆接线盒/光刻机配件 | 光纤连接器(ASML.连接光纤.光刻机通信用.不带 | 光纤连接器(ASML.连接光纤.光刻机通信用.不带光缆) 13% 千克 无 无 8% 30%
9025191090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非液体的工业用温度计及高温计 温度传感器(光刻机专用) | 温度传感器(ASML.感应光刻机水循环系统中的水 13% 个 无 无 0% 20%
8537101990 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非机床用数控装置 用于电压不超过1000伏的线路 电路板(光刻机专用零件) | 控制板(ULTRATECH.光刻机用) | 手臂控制器(ULTRATECH.光刻机用) | 电机控制器(ULTRATECH,光刻机用) | 电路板(电压<1000V,光刻机用数控装置) | 电路板(ASML,光刻机用电气数控装置,将模拟 | 电路板(NEWAYS,光刻机用电气数控装置,将模拟信 | 电路板(ASML.将模拟信号转换成数字信号.光刻机 | 电路板(ASML,光刻机用电气数控装置,通过数模信 | 电路板(ASML,24V,光刻机用电气数控装置,将模拟信号 | 数控板(ASML,光刻机用电气数控装置,通过数模信号转 | 电路板(ASML,光刻机用电气数控装置,将模拟信号转化 | 电路板(ASML,光刻机用电气数控装置,将模拟信号转换 | 电路板(ASML,24V,光刻机用电气数控装置,将模拟信号转 | 电路板(ASML.将模拟信号转换成数字信号.光刻机用电气 | 数控板(ASML,光刻机用电气数控装置,通过数模信号转换 | 电路板(ASML,光刻机用电气数控装置,将模拟信号转化为 | 电路板(ASML,光刻机用电气数控装置,将模拟信号转换为 | 电路板(ASML,光刻机用电气数控装置,将模拟信号转换成 | 电路板(ASML,将模拟信号转换为数字信号,光刻机用电气 13% 个 无 无 5% 14%
9025191010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 温度传感器 温度传感器(光刻机专用) | 温度传感器(ASML.感应光刻机水循环系统中的水 13% 个 无 无 0% 20%
6903200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 氧化铝含量＞50%的其他耐火陶瓷制品 氧化铝包括三氧化二铝和二氧化硅的混合物或化合物 陶瓷销(ULTRATECH.光刻机用) | 陶瓷螺杆(ULTRATECH.光刻机用) 0% 千克 无 无 8% 20%
8428909090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他升降、搬运、装卸机械 传送臂(ULTRATECH.光刻机用) | 提升装置(ASML.用于支撑住光刻机镜头.将其提 | 升降装置(ASML.用于支撑住光刻机上的风淋室. | 升降调节装置(AAE牌.安装光刻机系统模块过程 | 升降装置(ASML.用于支撑住光刻机上的风淋室.将其提升 | 升降调节装置(AAE牌.安装光刻机系统模块过程中升降作 13% 台 无 无 5% 30%
3917390000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 塑料制的其他管子 经加强或与其他材料合制的 塑料管(ULTRATECH,光刻机用) 13% 千克 无 无 6.5% 45%
9015800090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他测量仪器及装置 测量仪(ULTRATECH.光刻机用) 13% 台 无 无 0% 14%
8481202010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 飞机发动机用气压传动阀 用于管道、锅炉、罐、桶或类似品的 气压阀(ULTRATECH.光刻机用) | 气压传动阀(ASML.用于光刻机的气压传动系统 | 气压传动阀(ASML.控制阀门开启和关闭.光刻机 | 气压传动阀(ASML.用于光刻机气压系统中.通过 | 气压传动阀(ASML.用于光刻机气浮系统中.气压 | 气压传动阀(光刻机用.起传递气体动力功能.NE | 气压传动阀(ASML.控制光刻机用于气路循环系统 | 气压传动阀(品牌ASML.用于光刻机的气压传动系 | 气压传动阀(ASML.用于光刻机的气压系统.通过阀 | 气体传动阀(ASML.用于光刻机气路循环系统.通过 | 电子调节阀(光刻机气压传动系统.控制空气压力. | 气压传动阀(ASML.用于光刻机气压系统中.通过对系统 | 气压传动阀(ASML.用于光刻机气浮系统中.气压传动功 | 气压传动阀(ASML.用于光刻机气浮系统中.气压传动功能 | 气压传动阀(ASML.用于光刻机的气压系统.通过阀门开启 | 气压传动阀(光刻机用.起传递气体动力功能.NEWAYS牌.阀 | 气压阀(ASML.用于光刻机气路循环系统.通过给予不同的 13% 套 无 无 5% 30%
8421399090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他气体过滤、净化机器及装置 过滤器(ULTRATECH.光刻机用) | 气体过滤器(NEUTRAL牌.用于光刻机气体循环系 | 气体过滤器(品牌ASML.光刻机用.通过内部的PTF | 气体过滤器(品牌ASML.光刻机用.通过利用分子 | 气体过滤器(品牌ASML.用于光刻机气体循环系统 | 气体过滤器(品牌ASML.光刻机用.通过利用分子元 | 气体过滤器(光刻机用清洁空气.通过活性碳与滤 | 气体过滤器(NEUTRAL牌.活性炭吸附过滤原理.用于光刻机 13% 个 无 无 5% 40%
9030332000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 不带记录装置的电阻测试仪 用于测试或检验半导体晶圆或器件用的除外 电阻测量仪(旧)/光刻机用 | 接地检测仪(光刻机用.检测接地线电阻功能.不 13% 台 无 无 10% 80%
8536909000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他电压≤1000伏电路连接器等电气装置 连接器(ULTRATECH.光刻机用) 13% 千克 A L/ 0% 50%
8536200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 电压不超过1000伏自动断路器 自动断路器(光刻机用.480V) 13% 个 A L/ 9% 50%
8482104090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他推力球轴承 滚珠轴承 推力球轴承(NIKON.光刻机用) 13% 套 无 无 8% 20%
8482102000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 深沟球轴承 滚珠轴承 深沟球轴承(NIKON.光刻机用) 13% 套 无 无 8% 20%
8443393200 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 数字式静电照相印刷机(激光印刷机) 不可与自动数据处理设备或网络连接 成像物镜头激光刻印机(旧) 13% 台 无 无 0% 35%
8486403900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他用于升降、装卸、搬运集成电路等的设备 升降、装卸、搬运单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路和平板显示器的装置 供料装置(ULTRATECH,光刻机用) 13% 台 无 无 0% 30%
8501400000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 激光刻印机零件：风扇马达 | 电动机(NIKON,单相交流,输出功率380千瓦,光刻机用) 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8531200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 有液晶装置或发光管的显示板 显示面板(ULTRATECH,光刻机用) 13% 个 无 无 0% 70%
3917400000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 塑料制的管子附件 如接头、衬管及法兰等 管接头(塑料制)/光刻机配件 | 管接头(ASML.光刻机用.用于连接10MM口径气管 | 管接头(ASML.光刻机用.用于连接气管.塑料制. | 管接头(ASML.光刻机用.用于连接10MM口径气管.塑料制. 13% 千克 无 无 10% 45%
2933290090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他结构上有非稠合咪唑环化合物 六芳基二咪唑光刻胶引发剂 13% 千克 无 无 6.5% 20%
8537101190 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他可编程控制器 用于电压不超过1000伏的线路 激光刻印机用可编程控制器 | 电压控制器(ULTRATECH,光刻机用) | 可编程控制器(品牌ASML.光刻机用可编程控制 | 可编程控制器(ASML.光刻机用可编程控制器(PLC | 信号控制单元(ASML.接收传递光刻机和激光发生 | 可编程控制器(品牌ASML.光刻机用可编程控制器PLC.根据 13% 个 无 无 5% 14%
8412310090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他直线作用的气压动力装置(气压缸) 直线作用气压缸/光刻机配件 13% 台 无 无 14% 35%
7014009090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 玻璃制光学元件/光刻机配件 | 玻璃制光学元件(NIKON.光刻机用.未经光学加 | 玻璃制光学元件(NIKON.光刻机用.未经光学加工) 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
9026801000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 测量气体流量的仪器及装置 气体流量传感器/光刻机配件 13% 个 无 无 0% 17%
8543709990 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他未列名的具有独立功能的电气设备及装置 编码器/光刻机用/ASML/无型号 | 远程高性能接收器/光刻机配件 | 模数转换器(ASML牌.光刻机用.光电模拟信号转 | 功率放大器(品牌ASML.用于光刻机,将电信号的 | 编码器(光刻机用.将模拟脉冲信号通过特定的 | 视频分配器(ARTICS.光刻机用视频信号分配装置. | 模数转换器(ASML牌.光刻机用.光电模拟信号转换 | 编码器(光刻机用.将模拟脉冲信号通过特定的编 | 编码器(光刻机用.将模拟脉冲信号通过特定的编码 | 编码器(光刻机用.将模拟脉冲信号通过特定的编码转 9% 台 无 无 0% 35%
8471504090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他的微型机的处理部件 不论是否在同一机壳内有一或两个存储,输入或输出部件 主机箱/光刻机机台用/微型机 | 数字式处理部件(ULTRATECH.光刻机用) | 机架式服务器/光刻机用/微型机/HP牌 | 自动数据处理板(IDE.光刻机用微型机.1个CPU. | 自动数据处理板(PRODRIVE牌.微型机.光刻机用 | 主机箱(SUN品牌.微型机.用于光刻机电脑系统. | 自动数据处理板(PRODIVE牌.用于光刻机控制柜. | 主机箱(SUN.光刻机用工业微型计算机主机箱.立 | 电脑主机/1GB固态硬盘/操作系统:MS-DOS/光刻机用 | 中央处理器板(ASML.用于光刻机子系统.数据的计 | 自动数据处理板(用于光刻机镜头运行操作主机 | 主机箱|光刻机用|无鼠标键盘显示器/Koning & Hartman | 中央处理器板(ASML.用于光刻机子系统.数据的计算和传 | 主机箱(SUN.光刻机用工业微型计算机主机箱.立式.内存1 13% 台 无 无 0% 70%
9030339000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 不带记录装置的检测电压、电流及功率的其他仪器 用于测试或检验半导体晶圆或器件用的除外 功率测量器(ULTRATECH.光刻机用) 13% 台 无 无 0% 20%
8540810000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 接收管或放大管 射频三极管(ULTRATECH.光刻机用) 13% 只 无 无 8% 17%
3701309000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 未曝光其他用途的感光硬片及软片 平面软片,任何一边＞255mm 光刻工艺专用高等级感光胶片 13% 千克 无 无 0% 70%
2908999090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他酚及酚醇的卤化等衍生物 包括其磺化、硝化或亚硝化衍生物 光活性化合物/配制光刻胶原料 13% 千克 无 无 5.5% 30%
8483401010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 飞机水平尾翼螺旋杆 滚子螺杆传动装置/光刻机配件 | 滚子螺杆传动装置(NIKON.光刻机用.用于将 | 滚子螺杆传动装置(NIKON.光刻机用.用于将旋转 13% 个 无 无 8% 30%
8504401920 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 直流高功率电源 能8小时连续产生100V,500A电流,稳定度优于0.1% 光刻机-交换式直流电源供应器 13% 个 3 无 0% 50%
9030390000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他带记录装置的检测电压、电流、电阻或功率的仪器 万用表除外,用于测试或检验半导体晶圆或器件用的除外 电阻率计/光刻机用/SERV.636.72291 13% 台 无 无 0% 20%
3906100000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 初级形状的聚甲基丙烯酸甲酯 生产光刻胶用聚甲基丙烯酸甲酯 13% 千克 无 无 6.5% 45%
8483109010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 飞机发动机用传动轴 旋转轴(光刻机专用.传动旋转轴) 13% 个 无 无 6% 30%
8413501090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非农业用气动往复式排液泵 激光刻号机用气动往复式排液泵 13% 台 无 无 10% 40%
8537109090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他电力控制或分配的装置 电压不超过1000伏的线路 信号传输盒/光刻机用/SERV.502.32518 | 电子信号分配电路板(旧)/AGILENT牌/光刻机用 | 电路信号控制器(ASML.光刻机用分配控制电力 | 电路信号控制器(ASML.光刻机用.提供电力控制 | 电路板(ASML.光刻机用.提供电力控制和信号传 | 电力分配器(品牌ASML.光刻机用.分配连接电力. | 电力分配控制器/光刻机用/电压24V/SERV.646.85011 | 电路信号控制器(ASML.电路控制原理.光刻机用. | 摄像机控制装置(旧)/NIKON牌/NVCEX-X/用于光刻机 | 电路控制板(ASML.光刻机用.提供电力控制和信号 | 电力分配控制器(ASML.光刻机用.通过电路分配原 | 电力分配器(光刻机用.通过开环控制原理达到电 | 电力分配控制板(光刻机用.通过电路分配原理达 | 机械臂控制器(NIKON.光刻机用机械臂控制装置.控 | 电路信号控制器(光刻机用.提供电力控制和信号 | 电路信号控制器(光刻机用.通过电路分配原理达 | 控制盒(光刻机用.通过电路分配原理达到电力控 | 控制电路板(ROCKY.通过电路板上的电子元器件对光刻 | 电路控制板(ASML.光刻机用.提供电力控制和信号传输 | 控制电路板(ROCKY.通过电路板上的电子元器件对光刻机 | 电力分配控制器(ASML.光刻机用.通过电路分配原理达到 | 电力分配器(品牌ASML.光刻机用.分配连接电力.电力分配 | 光路控制电气柜(品牌ASML.光刻机用.控制电力.通过电路 | 机械臂控制器(NIKON,光刻机用机械臂控制装置,控制机械 | 电路信号控制器(ASML.电路控制原理.光刻机用.提供电力 13% 个 A L/ 8% 50%
8539329000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 金属卤化物灯 卤素灯(光刻机用.品牌NIKON.12V.100W) 13% 只 无 无 8% 70%
8536901100 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 工作电压不超过36伏的接插件 接插件(ASML.光刻机线路连接用.15V) | 接插件(ASML.光刻机电气连接电路用.24V) | 接插件(ASML.光刻机电气连接用接插头.电压小 | 接插件(ASML.光刻机电气连接电路用.电压小于 | 接插件(ASML.光刻机电气连接用接插头.电压小于36V) | 接插件(品牌ASML.光刻机用.用于电路连接.连接方式为接 13% 千克 无 无 0% 50%
8536610000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 电压≤1000伏的灯座 灯座(光刻机用,NIKON,额定电压200伏) | 灯座(光刻机用.品牌NIKON.额定电压200伏) | 灯座(光刻机用.品牌NIKON. 13% 个 无 无 10% 50%
8471504001 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 含显示器和主机的微型机 不论是否在同一机壳内有一或两个存储,输入或输出部件 数字式处理部件(ULTRATECH,光刻机用) 13% 台 无 L/ 0% 70%
8479892000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 空气增湿器及减湿器 加湿器(光刻机用.增加空气湿度.ASML) 13% 台 无 L/ 0% 70%
8547200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 塑料制绝缘零件 绝缘件(AXCELIS,塑料制,光刻机绝缘用) 13% 千克 无 L/ 7% 35%
9031802000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 坐标测量仪 坐标测量仪/光刻机用/电磁感应原理 13% 台 无 无 0% 17%
7320209000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他螺旋弹簧 弹簧(NIKON.光刻机用钢铁制螺旋弹簧) | 螺旋弹簧(NIKON.工业用不锈钢制螺旋弹簧.光刻 13% 千克 无 无 8% 50%
3917320000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他未装有附件的塑料制管子 未经加强也未与其他材料合制 塑料管/聚乙烯制/未装附件/光刻机用 | 塑料软管/聚乙烯/未装附件/光刻机用 | 管子/聚乙烯/无附件/未加强未合制/光刻机用 | 塑料软管/聚乙烯/未装附件/未加强/光刻机用 13% 千克 无 无 6.5% 45%
8504403090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他逆变器 逆变器(ASML.直流变交流.600W.光刻机用) | 逆变器(品牌ASML.光刻机用.直流转交流.功率1 | 逆变器(ASML.把直流电变成交流电.以便光刻机 | 逆变器(ASML.把直流电变成交流电.以便光刻机使用.12KW 13% 个 无 无 0% 30%
8471609000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 计算机的其他输入或输出部件 计算机指自动数据处理设备 读卡器/光刻机主机电脑用/SERV.654.64261 13% 台 无 无 0% 14%
7616100000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 铝钉、螺钉、螺母、垫圈等紧固件 垫圈(NIKON.密封用.铝制.单层.光刻机用) 13% 千克 无 无 8% 40%
2915390090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他乙酸酯 乙酸1-甲氧基-2-丙基酯,用途光刻胶溶剂 | 乙酸酯溶液,用于光刻胶生产中做添加剂 13% 千克 AB M.R/N.S 5.5% 30%
8504401400 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 功率＜1千瓦直流稳压电源 稳压系数低于万分之一,品目8471所列机器用除外 直流稳压电源(旧)/光刻机用/精度<1/10000 | 直流稳压电源(光刻机用,NIKON,功率<1000瓦,精 | 直流稳压电源(ASML.为光刻机提供基础稳压电 | 直流稳压电源(ASML.为光刻机运动平台提供直 | 直流电源(ASML.光刻机用.为光刻机提供基础电 | 直流电源(ASML.光刻机用.直流稳压.功率小于10 | 直流稳压电源(ASML.光刻机操作平台供电用.200 | 直流电源(ASML.为光刻机提供基础电源.直流稳 | 直流电源(ASML.为光刻机提供基础稳压电源.直 | 直流电源(ASML.光刻机用.提供直流稳压电源.直 | 直流稳压电源(光刻机用,NIKON,功率<1000瓦,精度 | 直流稳压电源(品牌KNIEL.光刻机供电用.功率小 | 直流稳压电源(ASML.光刻机用.供电用.直流稳压 | 直流稳压电源(ASML.光刻机用.提供直流电源.直 | 直流稳压电源(ASML.为光刻机提供基础稳压电源 | 直流电源(ASML.光刻机用.直流稳压.功率120W.精度 | 直流电源(ASML.为光刻机提供基础电源.直流稳压 | 直流电源(ASML.为光刻机提供基础稳压电源.直流 | 直流电源(ASML.光刻机用.直流稳压.功率500W.精度低于 | 直流稳压电源(ASML.光刻机操作平台供电用.200W.精度低 | 直流稳压电源(光刻机用.NIKON.功率 | 直流稳压电源(ASML.为光刻机提供基础稳压电源.直流稳 13% 个 无 L/ 0% 80%
8539299900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他未列名的白炽灯泡 显微镜照明灯/4022.502.20314/光刻设备照明 13% 只 无 无 6% 70%
8479899910 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 用于光盘生产的金属母盘生产设备 具有独立功能的 用于光盘生产的母盘光刻胶涂覆设备(旧) 13% 台 无 无 0% 30%
8414599099 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他风机、风扇 风扇(MEISSNER&Wurst.用于光刻机新风系统中. | 风机(ASML.提供光刻机温控冷却风.落地式.1500W) | 风扇(VEA牌.光刻机用.用于散热.嵌入式安装.小 | 风扇(VEA牌.光刻机用.用于散热.嵌入式安装.小于1000W 13% 台 无 L/ 8% 30%
3919909090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他自粘塑料板、片、膜等材料 包括箔,带,扁条及其他扁平形状材料,不论是否成卷 防水贴膜/100%聚乙烯/光刻机用/SERV.642.63625 | 贴膜(用于光刻机硅片平台上.保护传感器表面. | 贴膜(品牌ASML.光刻机用.贴在硅片平台位置传感 | 防水贴膜(光刻机硅片平台专用.专用于光刻机硅 | 贴膜(ASML.贴在光刻机硅片平台上防水用.非半导体晶圆 13% 千克 无 无 6.5% 45%
7318220090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他垫圈 垫圈(品牌ASML.光刻机用.紧固用.不锈钢制. | 垫片(NIKON.不锈钢制单层垫片.密封用.光刻机用 13% 千克 无 无 8% 80%
9027300010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 傅立叶红外光谱仪 激光测量模块(GIGAPHOTON.用于光刻机.测量内 | 激光测量模块(GIGAPHOTON.用于光刻机.测量内部激 | 激光测量模块/光刻机/测内部激光波长波宽/7A22474000 13% 台 无 无 0% 17%
8421999010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 用氟聚合物制造的厚度不超过140微米的过滤膜或净化膜的液体过滤或净化机器及装置的零件；装备不锈钢外壳、入口管和出口管内径不超过1.3厘米的气体过滤或净化机器及装置的零件 滤芯(NIKON.光刻机气体循环管道过滤装置上 | 滤芯(NIKON.光刻机气体循环管道过滤装置上的 | 滤芯(NIKON.光刻机气体循环管道过滤装置上的过 13% 千克 无 无 0% 40%
9027300090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他分光仪、分光光度计及摄谱仪 使用光学射线(紫外线、可见光、红外线)的 激光测量模块(GIGAPHOTON.用于光刻机.测量内 | 激光测量模块(GIGAPHOTON.用于光刻机.测量内部 | 激光测量模块(GIGAPHOTON.用于光刻机.测量内部激 | 激光测量模块/光刻机/测内部激光波长波宽/7A22474000 13% 台 无 无 0% 17%
8501200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 电机(ASML.光刻机用.提供电能.输出功率150W. | 电机(光刻机用提供电能.交直流两用功率150W. 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8421219990 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非家用型过滤或净化水的装置 水过滤器(NIKON.光刻机用.通过吸附过滤去除 | 过滤器(ASML.用于光刻机水循环系统.通过中间 | 液体过滤器(光刻机用.过滤水中杂质用.ASML牌 | 水过滤器(品牌ASML.光刻机用.利用分子元素的 | 液体过滤器(光刻机用.过滤净化水用.ASML牌.孔 | 过滤器(用于光刻机水循环系统.通过中间的薄 | 水过滤器(NIKON.光刻机用.通过吸附过滤去除杂 | 过滤器(用于光刻机水循环系统中过滤水中杂质 | 水过滤器(NIKON.光刻机用.通过吸附过滤去除杂质 | 液体过滤器(光刻机用.过滤净化水用.ASML牌.孔隙原理 | 过滤器(ASML.用于光刻机水循环系统.通过中间的薄膜过 13% 台 无 无 5% 50%
8505200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 电磁联轴节、离合器及制动器 电磁制动器(光刻机用.NIKON.用于内部运动部 | 电磁制动器(光刻机用.NIKON.用于内部运动部件 | 电磁制动器(光刻机用,NIKON,用于内部运动部件制 | 电磁制动器(光刻机用,NIKON,用于内部运动部件制动) 13% 千克 无 无 8% 20%
9001100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 光导纤维束、光缆及其他光导纤维 但品目8544的货品除外 光缆(ASML.传输光信号.光刻机用.有接头.光导 | 光缆(ASML.光刻机用传输光信号.有接头.每单根 | 光缆(有接头.光刻机用传输光信号.ASML.单根纤 | 光缆(ASML.传输光信号.光刻机用.有接头.光导纤 | 光缆(ASML.传输光信号.光刻机用.有接头.光导纤维 | 光缆(ASML.传输光信号.光刻机用.有接头.光导纤维束 13% 千克 无 无 5% 20%
8481809000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 未列名龙头、旋塞及类似装置 用于管道、锅炉、罐、桶或类似品的 龙头(SWAGELOK.光刻机用.控制管道的开关.阀芯 13% 套 无 无 5% 50%
8504401500 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 功率＜10千瓦其他交流稳压电源 精度低于千分之一 交流稳压电源(光刻机用,NIKON,功率<10千瓦,精 | 交流稳压电源(NIKON,光刻机用,功率<10千瓦,精度低于千 | 交流稳压电源(光刻机用.NIKON.功率 13% 个 无 无 0% 80%
3818001900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 12英寸硅片(光刻机上用.薄片.硅.磷.30.48厘米 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8431390000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目8428所列其他机械的零件 升降机,倒卸式起重机,自动梯的零件除外 连接件(ASML.用于光刻机系统部件吊装提升装 | 连接件(ASML.专用于光刻机镜头吊装提升装置. | 支架(ASML.升降搬运时.支撑光刻机镜头的冷却 | 固定件(ASML.不锈钢制.已制成特殊形状.光刻机 | 连接件(ASML.用于光刻机镜头和提升装置主体的 | 提升机构连接件(ASML.不锈钢制.用于光刻机镜头 | 固定件(ASML.搬运光刻设备系统部件时.与设备专用提升 | 连接件(ASML.专用于光刻机镜头吊装提升装置.在提升过 | 连接件(ASML.用于光刻机镜头和提升装置主体的连接.钢 | 固定件(ASML.不锈钢制.已制成特殊形状.光刻机零件提升 13% 千克 无 无 5% 30%
8528521100 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 专用或主要用于品目8471商品的液晶监视器 液晶显示器(光刻机用EIZO NANAO CO.19寸.彩色LCD 13% 台 无 L/ 0% 40%
9024800000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 非金属材料的试验用机器及器具 张力测试仪(品牌ASML.光刻机用.测量橡胶皮带 | 强度测试仪/测量光刻机防震基座的防震性能 | 皮带张力测量装置(品牌ASYST.光刻机用.测量橡 13% 台 无 无 0% 20%
6909120000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 摩氏硬度≥9的技术用陶瓷器 实验室、化学或其他专门技术用途的 陶瓷板(ASML.光刻机用.真空吸附原理抓取硅片 13% 千克 无 无 8% 30%
8501320000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 马达(ASML.直流.用于驱动光刻机快门的开闭.1K 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
7607200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 有衬背铝箔 厚度≤0.2mm 铝箔(工业用.贴于光刻机机台上.密封防水用. 13% 千克 无 无 6% 35%
7307290000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 不锈钢制其他管子附件 管接头(ASML.光刻机用.用于连接管子防止漏气 | 管接头(ASML.光刻机用.用于连接管子用.不锈钢 | 管接头(ASML.光刻机用.用于连接管子.不锈钢制) | 管接头(NIKON.不锈钢制.用于管子之间连通.光刻机用) 0% 千克 无 无 8% 20%
8414100090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他真空泵 真空泵(ASML.为光刻机硅片平台抽取湿真空.回 | 真空泵(ASML.通电后产生光刻机温控装置内所需 13% 台 无 无 8% 30%
8483409010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 飞机发动机用齿轮传动装置（齿轮箱） 丝杆(旧)/光刻机用/直线运动转化为径向运动 13% 个 无 无 8% 30%
9027900000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 检镜切片机、理化分析仪器零件 固定件(ASML.固定反射镜面用.安装在光刻机光 | 固定件(ASML.固定反射镜面用.安装在光刻机光路系统的 13% 千克 无 无 0% 17%
9032200000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 恒压器 气体控制器(ASML.用于光刻机气路循环系统.用 13% 台 无 无 0% 17%
8536490010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 电压大于60伏的继电器，含汞 用于电压不超过1000伏的线路 继电器(ASML.用于光刻机自动控制电路中.自动 | 继电器(ASML.用于光刻机自动控制电路中.自动调节 13% 个 89 无 10% 50%
7318220001 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他垫圈（不包括不锈钢紧固件） 非用于民用航空器维护和修理的 垫圈(ASML.紧固光刻机框架用.钢铁制.无原产地 13% 千克 无 无 8% 80%
8302490000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他用贱金属配件及架座 门把手(ASML.光刻机用.不锈钢制造.光刻机的门 13% 千克 无 无 9% 80%
8419500090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他热交换装置 热交换器(NIKON.光刻机用.通过冷却液循环进行 | 热交换装置(ASML.光刻机用.由气体控制装置.电 13% 台 A M/ 10% 30%
7320109000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他片簧及簧片 簧片(ASML.钢铁制.光刻机机台运动部件.非车用 | 弹簧片(光刻机机台运动部件.起缓冲作用.钢铁 13% 千克 无 无 8% 50%
8471414000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 微型机 机台用微机(光刻机机台用.一体式台式微型机. | 机台用微机(光刻机机台用.一体式台式微型机.重量9.5KG 13% 台 A L/ 0% 70%
8471701100 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 固态硬盘（SSD） 硬盘(HP.容量450G.缓存16M.10000转/秒.SAS接口.光刻 | 硬盘驱动器(光刻机内工业计算机用.FUJITSU.73.5G. | 硬盘(品牌HP.硬盘容量2T.缓存容量128M.转速7.2K.光刻 | 硬盘驱动器(NEC.20GB容量.5400转/秒.缓存16M.光刻机内 13% 台 无 无 0% 14%
8536300000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 电压≤1000伏其他电路保护装置 限流器(ASML.限制电流过大以免光刻机主机损坏 13% 个 A L/ 0% 50%
8413603190 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非农业用电动叶片泵 回转式排液泵,多重密封泵除外 叶片泵(电力.水循环产生真空.用于光刻机零部 13% 台 无 无 10% 40%
8483900090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 品目8483所列货品用其他零件 包括单独报验的带齿的轮、链轮及其他传动元件 凸轮(ASML.配合马达驱动光刻机硅片平台上下运 | 凸轮(ASML.配合马达驱动光刻机硅片平台上下运动.贱金 13% 千克 无 无 8% 30%
7315820000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他焊接链 日字环节链除外 不锈钢链(光刻机用.不锈钢制圆形环节链.焊接 13% 千克 无 无 8% 80%
9025800010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 含汞的非电子温度计和气压计 温湿度变送器(VAISALA.光刻机用.装配湿敏和感温 13% 个 89 无 11% 30%
8007004000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 锡管及管子附件 例如,接头,肘管,管套 锡管(NIKON.用于管子之间的连接.锡制.光刻机用) 0% 千克 4xy 无 8% 45%
8483300090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他未装有滚珠或滚子轴承的轴承座;其他滑动轴承 空气轴承(光刻机用.气体作为润滑剂的滑动轴承 13% 个 无 无 6% 30%
8413604090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他非农业用螺杆泵 回转式排液泵,多重密封泵除外 水泵(将光刻机零件部件内部多余液体排出.品牌 13% 台 无 无 10% 40%
8301400000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他锁 电动锁(ASML,钢铁制,用于控制光刻机右腔门的开关 13% 千克 无 无 9% 80%
2915330000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 乙酸正丁酯 清洗液OCG RINSE I,用于清洗晶片表面残留的光刻胶, 13% 千克 AB M/N 5.5% 30%
8414809090 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 其他空气泵及通风罩 通风罩指装有风扇的通风罩或循环气罩,平面边长>120cm 空气泵(ASML,电动式,通过电机驱动向光刻机照明系 | 空气泵(ASML,电动式,通过电机驱动向光刻机照明系统输 13% 台 无 无 7% 30%
8419500060 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 用氟聚合物制造的、入口管和出口管内径不超过3厘米的热交换装置 热交换器(光刻机用.NIKON.通过冷却液循环进行热交 13% 台 A M/ 0% 30%
8471709000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 自动数据处理设备的其他存储部件 数据磁带机(光刻机内工业计算机数据存储用.8MM.NIKON) 13% 台 无 无 0% 14%
9027501000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 基因测序仪 光强检测器(ASML.通过感应紫外线光束检测其光强.光刻 13% 台 6 无 0% 17%
8501520000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 多相交流马达(ASML.光刻机提供动力用.用于驱动硅片平 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8517629900 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 该编码已过期 网络交换机(品牌CISCO.光刻机用.实现各模块之间的通讯 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期 已过期
8412390010 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 飞机发动机用气压作动器 气压驱动装置(ASML.气压传动原理.用于光刻机晶圆载台. 13% 台 无 无 14% 35%
8484100000 [类注] [章注] [子目注释] [详情] [4位] [6位] 密封垫或类似接合衬垫 用金属片与其他材料制成或用双层及多层金属片制成 密封垫(ASML.铝制薄膜+塑料制衬背组成.用于光刻机内部 13% 千克 无 无 8% 30%